[實用新型]一種帶有承片圈結構的蒸鍍行星鍋

有效

• 申請號: 201820292351.8
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN207845759U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 王玉泉
• 申請（專利權）人: 丹東英普朗特科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

1.一種帶有承片圈結構的蒸鍍行星鍋，其特征在于：包括電機、支架、支撐臂、行星鍋及坩堝；電機帶動支架旋轉，支撐臂的一端與支架固定，支撐臂的另外一端與行星鍋的轉軸軸接；行星鍋在軌道上自轉；電子束轟擊坩堝內的源，源內物質均勻蒸發到即公轉又自轉的行星鍋內，從而均勻蒸發到固定在行星鍋內側的硅晶圓上；行星鍋上設置多個通孔，所述通孔內設置承片圈，硅晶圓設置在所述承片圈內，所述承片圈通過彈片及2個固定螺絲固定在行星鍋的內側；所述彈片的結構是：彈片距離行星鍋一定距離設置凹槽，彈片通過兩個螺絲固定在行星鍋上；所述2個固定螺絲也設置相應的凹槽，承片圈徑向外側嵌入所述凹槽內以保證硅晶圓浮起于行星鍋上，不與行星鍋接觸；所述兩個固定螺絲與硅晶圓的圓心角為88°-90°。