[實用新型]掃模板和掃模設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820289121.6
• 申請日: 2018-03-01
• 公開（公告）號: CN208180049U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設計）人: 陳波
• 申請（專利權）人: 日月光封裝測試（上海）有限公司
• 主分類號: B29C33/72
• 分類號: B29C33/72;B29C45/17
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

本申請涉及掃模板和掃模設備。本實用新型實施例提供一種掃模板，其包括：主體，其包括凹槽，凹槽位于主體的中部區(qū)域且包括第一出風口、第二出風口以及第一進風口；第一擋風板，用于使氣流從第一進風口進入；第二擋風板，用于使氣流從第一進風口進入；第一擋塊，第一擋塊的上側(cè)壁與第一擋風板之間形成第一進風通道；第二擋塊，第二擋塊的上側(cè)壁與第二擋風板之間形成第二進風通道；其中，第一擋風板在靠近第一進風口的一端與第二擋風板在靠近第一進風口的一端接合；進入的氣流通過第一進風通道以從第一出風口輸出以及通過第二進風通道以從所述第二出風口輸出。這樣，可以有效提高第一進風口的風速，提高對廢料的吸除強度，提高生產(chǎn)效率。

技術領域

本申請涉及半導體制造技術領域，特別是涉及半導體制造技術領域中的掃模板和掃模設備。

背景技術

如圖1所示，在半導體制造過程中，對半導體芯片進行塑封的作業(yè)模具的作業(yè)面板的中間區(qū)域通常存在多個作業(yè)孔(Tip&Pot)。在進行塑封作業(yè)時，會在作業(yè)面板1的多個作業(yè)孔101之間產(chǎn)生塑封殘渣廢料。每次塑封過后均需清除產(chǎn)生的廢料以避免影響下次塑封作業(yè)時的產(chǎn)品品質(zhì)，因此需要對塑封殘渣廢料進行清除?，F(xiàn)有的掃模板2，如圖2所示，包括中間的風道20、上毛刷21和下毛刷22，中間的風道的截面為長方形，因此，通過與下毛刷22靠近的進風口吸入廢料14后通過風道的兩端送出，其中，虛線箭頭表示風道20內(nèi)的氣流方向或廢料傳輸方向。由于采用上述風道，會出現(xiàn)靠近風道兩端的風速大，而風道中間的風速偏低，由于風道中間正對作業(yè)孔101所在的區(qū)域，因此，會導致廢料清理不干凈，嚴重影響后續(xù)塑封過程中的產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的之一在于提供掃模板和掃模設備，其可有效解決半導體芯片塑封過程中出現(xiàn)的廢料清理不干凈導致的產(chǎn)品品質(zhì)差和生產(chǎn)效率低的問題。

本實用新型實施例提供了一種掃模板，所述掃模板包括：主體，其包括凹槽，所述凹槽位于所述主體的中部區(qū)域，所述凹槽包括第一出風口、第二出風口以及第一進風口，所述第一出風口與所述第二出風口相對，所述第一進風口位于所述第一出風口與所述第二出風口之間；第一擋風板，其設置于所述凹槽的所述第一進風口與所述第一出風口之間，且用于阻擋由所述第一進風口進入的氣流進入所述第一擋風板上方的空間區(qū)域；第二擋風板，其設置于所述凹槽的所述第一進風口與所述第二出風口之間，且用于阻擋由所述第一進風口進入的氣流進入所述第二擋風板上方的空間區(qū)域；第一擋塊，其設置于所述第一擋風板的下側(cè)且位于所述第一出風口處，所述第一擋塊的上側(cè)壁與所述第一擋風板之間形成第一進風通道；第二擋塊，其設置于所述第二擋風板的下側(cè)且位于所述第二出風口處，所述第二擋塊的上側(cè)壁與所述第二擋風板之間形成第二進風通道；其中，所述第一擋風板在靠近所述第一進風口的一端與所述第二擋風板在靠近所述第一進風口的一端接合；所述第一進風通道連通所述第一進風口與所述第一出風口，所述第二進風通道連通所述第一進風口與所述第二出風口，所述第一進風口位于所述第一擋塊與所述第二擋塊之間，且所述第一擋塊的下側(cè)壁與所述第二擋塊的下側(cè)壁用于阻擋氣流并使氣流僅通過所述第一進風口進入，且使進入的氣流通過所述第一進風通道以從所述第一出風口輸出以及通過所述第二進風通道以從所述第二出風口輸出。

本實用新型實施例還提供了一種掃模設備，應用于清潔芯片塑封模具的作業(yè)板面的廢料，所述掃模設備包括本實用新型所述的掃模板，所述掃模設備還包括配合部，所述配合部包括：安裝面板，其用于覆蓋凹槽的開口并將所述掃模板固定；第一出風腔，其經(jīng)配置以與第一出風口密封對接并將吸入的廢料送出；第二出風腔，其經(jīng)配置以與第二出風口密封對接并將吸入的廢料送出。

本實用新型實施例提供的掃模板和掃模設備相對于現(xiàn)有技術而言，可以有效清潔塑封模具的作業(yè)板面的廢料，提高了后續(xù)制程中的產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1所示是現(xiàn)有技術中作業(yè)模具的作業(yè)板面的結構示意圖。

圖2所示是現(xiàn)有技術的掃模板的結構示意圖。