[實(shí)用新型]氣體加熱裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820284580.5
• 申請日: 2018-02-28
• 公開（公告）號: CN207975838U
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇信瑀;廖志朋
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇信瑀
• 主分類號: F24H3/08
• 分類號: F24H3/08;F24H9/18;F24H9/20;F24H9/02
• 代理公司: 北京申翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 黃超;周春發(fā)

本實(shí)用新型揭露一種氣體加熱裝置，其為一種避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積的氣體加熱裝置，本實(shí)用新型氣體加熱裝置包括一外殼、一第一加熱器、一導(dǎo)熱套筒，以及一輸氣導(dǎo)管；藉此，本實(shí)用新型主要將螺旋狀的輸氣導(dǎo)管環(huán)設(shè)于加熱器外端部的硬體設(shè)計(jì)，有效以增加輸氣導(dǎo)管的導(dǎo)熱面積的方式，將加熱器的熱能傳導(dǎo)至輸氣導(dǎo)管內(nèi)的氣體而達(dá)成均溫與高熱的效率，確實(shí)達(dá)到提升氣體加熱的安全性、其體傳輸順暢且快速，以及避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積于排氣管內(nèi)部的主要優(yōu)勢。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型是有關(guān)于一種氣體加熱裝置，特別是有關(guān)于一種避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積的氣體加熱裝置。

背景技術(shù)

按，現(xiàn)行半導(dǎo)體制程中的擴(kuò)散(Diffusion)和沉積(Deposition)步驟中，必須透過不同的氣體在晶圓(Wafer)表面產(chǎn)生反應(yīng)，藉以形成一層氧化薄膜，由于半導(dǎo)體制程所使用的真空設(shè)備在每批晶圓生產(chǎn)過程中皆會(huì)伴隨廢氣的排放，而這些廢棄在通過真空泵浦之后，會(huì)因?yàn)閺U氣排氣管路的溫度降低而形成冷凝現(xiàn)象，使得廢氣容易凝結(jié)為粉塵而沉積在排氣管路的內(nèi)壁上，日積月累下容易造成排氣管路內(nèi)徑縮小甚至堵塞，最后導(dǎo)致排氣管路的排氣量不足而引發(fā)工安或衛(wèi)生等問題，更甚者可能使得排氣管路起火而引起火災(zāi)與爆炸等危險(xiǎn)。

中國臺(tái)灣新型專利第M550461號的“氣體加熱器”即被研發(fā)以解決上述的問題，該專利主要包含有殼體及設(shè)于殼體內(nèi)的加熱器與輸氣管組，輸氣管組具有盤管、入氣管及出氣管，盤管內(nèi)具有用于容置加熱器的容置空間，入氣管與出氣管分別連通于盤管二端，當(dāng)氣體由入氣管進(jìn)入盤管時(shí)，加熱器會(huì)將熱能間接傳導(dǎo)至盤管，加熱盤管內(nèi)的氣體后，再由出氣管排入真空泵浦排氣管路內(nèi)加溫廢氣，避免廢氣凝結(jié)成粉塵沉積，減少清洗排氣管路次數(shù)及人力消耗；盤管內(nèi)設(shè)有提升氣體加熱效率的復(fù)數(shù)支撐片，加熱器穿設(shè)于復(fù)數(shù)支撐片上而可快速抽換；出氣管設(shè)有溫度感測計(jì)，及依據(jù)溫度感測計(jì)所測的氣溫調(diào)整加熱器溫度的控制器，以提升安全性；此專利的盤管以相鄰的直管以U行連接管連接；然而，此舉容易導(dǎo)致欲加熱的氣體于該盤管內(nèi)的流速不平均，以及氣體的溫度導(dǎo)熱亦不均勻；此外，該盤管與加熱氣之間藉由復(fù)數(shù)個(gè)支撐片接觸而導(dǎo)熱，然，其接觸面積僅限于局部，容易使得流動(dòng)于盤管內(nèi)的氣體導(dǎo)熱溫度慢而導(dǎo)熱效果不佳；因此，如何有效藉由創(chuàng)新的硬體設(shè)計(jì)，確實(shí)達(dá)到提升氣體加熱的安全性、其體傳輸順暢且快速，以及避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積于排氣管內(nèi)部等優(yōu)勢，是半導(dǎo)體的氣體加熱裝置等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的開發(fā)業(yè)者與相關(guān)研究人員需持續(xù)努力克服與解決的課題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題即在提供一種氣體加熱裝置，其目的在于提供一種避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積的氣體加熱裝置，主要將螺旋狀的輸氣導(dǎo)管環(huán)設(shè)于加熱器外端部的硬體設(shè)計(jì)，有效以增加輸氣導(dǎo)管的導(dǎo)熱面積的方式，將加熱器的熱能傳導(dǎo)至輸氣導(dǎo)管內(nèi)的氣體而達(dá)成均溫與高熱的效率，確實(shí)達(dá)到提升氣體加熱的安全性、其體傳輸順暢且快速，以及避免排氣管路中的廢氣凝結(jié)成粉塵而沉積于排氣管內(nèi)部的主要優(yōu)勢。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。

提出一種氣體加熱裝置，至少包括有一外殼、一第一加熱器、一導(dǎo)熱套筒，以及一輸氣導(dǎo)管；外殼內(nèi)部開設(shè)有一容置空間，外殼的二端部分別開設(shè)有一第一開口與一第二開口，其中第一開口與第二開口與容置空間相互貫通；第一加熱器設(shè)置于容置空間；導(dǎo)熱套筒設(shè)置于容置空間且位于第一加熱器的外端部；輸氣導(dǎo)管設(shè)置于容置空間且環(huán)設(shè)于導(dǎo)熱套筒與第一加熱器的外端部。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，輸氣導(dǎo)管包括有一入氣端、一出氣端，以及一氣管。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中氣管的二端部分別連接入氣端與出氣端。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，氣管呈螺旋的態(tài)樣。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，輸氣導(dǎo)管的外端部可進(jìn)一步設(shè)置有一保溫件。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，輸氣導(dǎo)管的外端部可進(jìn)一步設(shè)置有一第二加熱器。