[實用新型]氣體激光裝置

有效

• 申請號: 201820276001.2
• 申請日: 2018-02-26
• 公開（公告）號: CN207967584U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 若林理
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;G01J11/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝

本實用新型提供一種氣體激光裝置，通過在氣體激光裝置的殼體內部靠近輸出端口的位置設置能夠拆裝的內部光路管，且用于安裝該內部光路管的空間能夠容納用于檢測激光特性的檢測裝置。這樣，在需要對氣體激光裝置輸出的激光的特性進行檢測時，不需要拆卸具有反射鏡的外部光路管，因此不需要花費時間進行光軸的調整，另外，也不需要在氣體激光裝置的外部預留設置檢測裝置的空間。從而，能夠方便快速的設置檢測裝置。

技術領域

本實用新型涉及激光領域，尤其涉及一種氣體激光裝置。

背景技術

在以往的技術中，氣體激光裝置輸出的激光可以用于外部設備，例如曝光裝置。圖1是現有的氣體激光裝置與外部的曝光裝置進行連接的一示意圖。如圖1所示，氣體激光裝置1通過外部光路管2與曝光裝置3連接，氣體激光裝置1輸出的激光通過外部光路管2中的反射鏡4和5輸出到曝光裝置3中。

應該注意，上面對技術背景的介紹只是為了方便對本實用新型的技術方案進行清楚、完整的說明，并方便本領域技術人員的理解而闡述的。不能僅僅因為這些方案在本實用新型的背景技術部分進行了闡述而認為上述技術方案為本領域技術人員所公知。

實用新型內容

本實用新型的發明人發現，在需要對氣體激光裝置1輸出的激光的特性進行檢測時，一般需要在氣體激光裝置1的輸出端口處設置檢測裝置以進行激光特性的檢測，而要想在輸出端口處設置檢測裝置，則需要拆下外部光路管2，但是由于當再次設置外部光路管2時，內部的反射鏡4和5會錯位，因此需要花費大量的時間進行外部光路管2內的反射鏡4和5反射的激光的光軸的調整，另外，在氣體激光裝置1和曝光裝置3之間不存在用于設置檢測裝置的空間的情況下，有時會發生無法進行輸出激光光的檢測的情況。

本實用新型實施例提供一種氣體激光裝置，在氣體激光裝置的殼體內部靠近輸出端口的位置設置能夠拆裝的內部光路管，且用于安裝該內部光路管的空間能夠容納用于檢測激光特性的檢測裝置。這樣，在需要對氣體激光裝置輸出的激光的特性進行檢測時，不需要拆卸具有反射鏡的外部光路管，因此不需要花費時間進行光軸的調整，另外，也不需要在氣體激光裝置的外部預留設置檢測裝置的空間。從而，能夠方便快速的設置檢測裝置。

根據本實用新型實施例的第一方面，提供一種氣體激光裝置，所述氣體激光裝置具有：殼體，其具有將激光輸出到外部的輸出端口；以及內部光路管，其以能夠拆裝的方式安裝在所述殼體內，并且，所述內部光路管從所述氣體激光裝置的內側連接到所述輸出端口，所述殼體內的用于安裝所述內部光路管的空間能夠容納用于檢測激光特性的檢測裝置。

根據本實用新型實施例的第二方面，其中，所述內部光路管的內部不具有反射鏡。

根據本實用新型實施例的第三方面，其中，所述內部光路管在所述激光的光軸方向上延伸。

根據本實用新型實施例的第四方面，其中，所述殼體內的用于安裝所述內部光路管的空間能夠容納長度為20cm～40cm、寬度為10cm～20cm以及高度為20cm～40cm的長方體。

根據本實用新型實施例的第五方面，其中，所述殼體內的用于安裝所述內部光路管的空間能夠容納長度為30cm、寬度為15cm以及高度為30cm的長方體。

根據本實用新型實施例的第六方面，其中，所述氣體激光裝置還具有：監控裝置，其用于監控激光的參數，所述內部光路管以能夠拆裝的方式安裝在所述監控裝置和所述輸出端口之間。

本實用新型的有益效果在于：通過在氣體激光裝置的殼體內部靠近輸出端口的位置設置能夠拆裝的內部光路管，且用于安裝該內部光路管的空間能夠容納用于檢測激光特性的檢測裝置。這樣，在需要對氣體激光裝置輸出的激光的特性進行檢測時，不需要拆卸具有反射鏡的外部光路管，因此不需要花費時間進行光軸的調整，另外，也不需要在氣體激光裝置的外部預留設置檢測裝置的空間。從而，能夠方便快速的設置檢測裝置。