[實(shí)用新型]一種6英寸藍(lán)寶石晶棒端面平磨夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820273211.6 | 申請日： | 2018-02-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN207930506U | 公開（公告）日： | 2018-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 左洪波;楊鑫宏;李鐵 | 申請（專利權(quán)）人： | 哈爾濱奧瑞德光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B41/06 | 分類號(hào)： | B24B41/06;B24B7/16;B24B7/22 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 150001 黑龍江*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 夾具 藍(lán)寶石晶棒 調(diào)節(jié)螺桿 固定裝置 平磨 底座 螺母 本實(shí)用新型 六角螺栓 保護(hù)膠 斜齒輪 旋鈕 翼形 操作臺(tái) 控制固定裝置 工作效率高 電磁裝置 方形鐵板 夾具底座 快速固定 平面磨床 連接軸 準(zhǔn)確率 拆卸 晶棒 平行 保證 | ||
本實(shí)用新型涉及一種6英寸藍(lán)寶石晶棒端面平磨夾具。該夾具包括底座、固定裝置、保護(hù)膠圈、連接軸、六角螺栓、螺母、翼形旋鈕、斜齒輪和調(diào)節(jié)螺桿。該夾具底座為上下面平行的方形鐵板，固定裝置通過四根調(diào)節(jié)螺桿與底座相連。翼形旋鈕通過斜齒輪連接調(diào)節(jié)螺桿，以控制固定裝置和底座的距離。固定裝置內(nèi)側(cè)設(shè)有保護(hù)膠圈，通過六角螺栓和螺母來固定晶棒。該夾具通過電磁裝置固定在平面磨床操作臺(tái)。本實(shí)用新型可快速固定、拆卸6英寸藍(lán)寶石晶棒，保證藍(lán)寶石晶棒端面平磨的準(zhǔn)確率，操作簡便，節(jié)省人力，工作效率高。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及大尺寸藍(lán)寶石晶棒加工領(lǐng)域，具體涉及一種6英寸藍(lán)寶石晶棒端面平磨夾具。
背景技術(shù)
α-Al2O3單晶又稱藍(lán)寶石，俗稱剛玉，是一種簡單配位型氧化物晶體。藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料、各種光學(xué)元器件、窗口材料。
眾所周知，采用大尺寸藍(lán)寶石襯底可有效降低LED芯片成本，大尺寸襯底可以在每個(gè)MOCVD輪次中制作更多的芯片。由于LED芯片存在邊緣無效區(qū)，所以直徑越大，芯片數(shù)量比與直徑比優(yōu)勢越明顯，以6英寸藍(lán)寶石襯底為例，表面積是2英寸的9倍，芯片數(shù)量確是2英寸的10.9倍。所以襯底尺寸越大，芯片數(shù)量優(yōu)勢越明顯。
藍(lán)寶石晶體具有各向異性的特點(diǎn)，LED襯底采用c向藍(lán)寶石晶片，為了更好地與外延層晶格匹配，減少外延層缺陷，在加工過程中要嚴(yán)格控制藍(lán)寶石晶棒的晶向，需要對藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行端面平磨糾角。采用松香封蠟的粘膠工藝在固定、拆卸晶棒時(shí)均需要采用鐵板加熱，加工效率低。同時(shí)，在加熱過程中會(huì)產(chǎn)生刺激性氣體，存在安全隱患。藍(lán)寶石晶體的密度為3.98g/cm3，長度為20cm的6英寸藍(lán)寶石晶棒重量約為15kg，在粘膠過程中不利于操作。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種高精度、高效率的6英寸藍(lán)寶石晶棒端面平磨夾具。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：它包括底座、固定裝置、連接軸、六角螺栓、螺母、翼形旋鈕、斜齒輪和調(diào)節(jié)螺桿，固定裝置通過調(diào)節(jié)螺桿與底座連接，固定裝置內(nèi)側(cè)設(shè)有保護(hù)膠圈，并通過六角螺栓和螺母固定晶棒，翼形旋鈕通過斜齒輪連接調(diào)節(jié)螺桿，以控制固定裝置和底座的距離，調(diào)節(jié)翼形旋鈕確保晶棒底面與底座上表面完全貼合。
本實(shí)用新型夾具平行放置在平面磨床操作臺(tái)上，根據(jù)晶向偏差選擇對應(yīng)的塞尺，最后通過電磁裝置固定夾具，對晶棒進(jìn)行磨削。
本實(shí)用新型還有這樣一些特征：
1.所述的底座為上下面平行的正方形鐵板，其厚度為1-2cm。
2.所述翼形旋鈕設(shè)置在固定裝置上，通過斜齒輪與調(diào)節(jié)螺桿相連接。
3.所述翼形旋鈕可在無扳手輔助下，使得晶棒底面和底座上面完全貼合。
4.所述固定裝置為不銹鋼環(huán)，通過連接軸相連，采用螺栓和螺母能夠達(dá)到較好的固定晶棒的效果。
本實(shí)用新型的有益效果有：
1.本實(shí)用新型能快速的固定、拆卸大尺寸藍(lán)寶石晶棒。
2.本實(shí)用新型克服了采用粘膠工藝效率低，存在安全隱患等問題。
3.本實(shí)用新型在工作過程步驟簡單，節(jié)省人力。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型俯視圖；
圖2為本實(shí)用新型主視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
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