[實用新型]一種用于紫外光刻機的高分辨率投影光學成像系統有效

申請號：	201820264700.5	申請日：	2018-02-23
公開（公告）號：	CN207867215U	公開（公告）日：	2018-09-14
發明（設計）人：	季軼群;高艷紅	申請（專利權）人：	蘇州大學
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20
代理公司：	蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103	代理人：	陶海鋒
地址：	215104 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	后組前組本實用新型紫外光刻機成像系統高分辨率投影光學光刻三片式結構透射式光學成像性能調試難度光學結構光學透鏡幾何像差聚焦光斑孔徑光欄數值孔徑縮小成像旋轉對稱整體聯合制造成本非對稱改進型透射式消色差分辨率光軸畸變集光同軸像差平衡加工優化
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【權利要求書】：

1.一種用于紫外光刻機的高分辨率投影光學成像系統，其特征在于：它采用同軸透射式光學成像結構，沿光線入射方向，依次為前組成像系統、孔徑光欄、后組成像系統和像平面；所述的前組成像系統采用庫克三片鏡式結構，光學元件依次為第一塊雙凸透鏡（11）、雙凹透鏡（12）和第二塊雙凸透鏡（13）；所述的后組成像系統由兩組雙膠合鏡構成的匹茲伐結構和場鏡組成，光學元件依次為第一組雙膠合透鏡組、第二組雙膠合透鏡組和彎月形厚透鏡（33），所述的第一組雙膠合透鏡組由第一片正透鏡（311）和平凹透鏡（312）構成，所述的第二組雙膠合透鏡組由彎月形負透鏡（321）和第二片正透鏡（322）構成；所述光學成像系統的總焦距f為3489mm≤f≤3519mm；前組成像系統焦距f₁為125mm≤f₁≤130mm，后組成像系統焦距f₃為25mm≤f₃≤30mm。

2.根據權利要求1所述的一種用于紫外光刻機的高分辨率投影光學成像系統，其特征在于：所述的第一塊雙凸透鏡（11）、雙凹透鏡（12）、第二塊雙凸透鏡（13）、第一片正透鏡（311）、平凹透鏡（312）、彎月形負透鏡（321）、第二片正透鏡（322）和彎月形厚透鏡（33），它們對系統焦距的歸一化值依次對應為f’₁₁、f’₁₂、f’₁₃、f’₃₁₁、f’₃₁₂、f’₃₂₁、f’₃₂₂和f’₃₃，滿足條件0.01≤f’₁₁≤0.02、-0.01≤f’₁₂≤-0.005、0.01≤f’₁₃≤0.015、0.01≤f’₃₁₁≤0.025、-0.04≤f’₃₁₂≤-0.028、-0.005≤f’₃₂₁≤-0.002、0.005≤f’₃₂₂≤0.015、-0.01≤f’₃₃≤-0.003；它們所用材料的折射率依次分別對應為n₁₁、n₁₂、n₁₃、n₃₁₁、n₃₁₂、n₃₂₁、n₃₂₂和n₃₃，滿足條件1.45≤n₁₁≤2.0、1.45≤n₁₂≤2.0、1.45≤n₁₃≤2.0、1.45≤n₃₁₁≤2.0、1.50≤n₃₁₂≤1.85、1.45≤n₃₂₁≤2.0、1.50≤n₃₂₂≤1.85、1.50≤n₃₃≤1.85。