[實用新型]一種化學品供應系統

有效

• 申請號: 201820259588.6
• 申請日: 2018-02-15
• 公開（公告）號: CN208204548U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 山世清
• 申請（專利權）人: 上海晶福機電科技有限公司
• 主分類號: F17D1/14
• 分類號: F17D1/14;F17D3/01;F17D3/18;F17D5/00
• 代理公司: 上海海鈞知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31330
• 代理人: 陳劍

1.一種化學品供應系統，其特征在于，包括一中空柜體，位于所述中空柜體內的化學品室和運輸管路室，控制系統，以及第一化學品供應線，所述第一化學品供應線包括位于所述運輸管路室內的第一輸送管道，所述第一輸送管道，所述第一輸送管道上設有排氣管，所述排氣管的兩端分別連通第一輸送管道連通和廢液回收系統，位于所述化學品室內的待供應化學品，由經第一輸送管道傳送至后續各裝置，所述控制系統控制所述排氣管和/或第一輸送管道的開啟或關閉。

2.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述第一化學品供應線還包括位于所述化學品室的第一化學品罐，待供應化學品位于第一化學品罐中，所述第一輸送管道的一端位于所述第一化學品罐的液位以下，所述第一輸送管道上設有第一動力泵。

3.根據權利要求2所述的化學品供應系統，其特征在于，所述第一動力泵的兩端分別設有第一排氣管和第二排氣管。

4.根據權利要求3所述的化學品供應系統，其特征在于，所述第一輸送管道和/或所述第一排氣管、第二排氣管上還設有氣動閥，所述控制系統控制所述氣動閥的開啟或關閉。

5.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述運輸管路室還設有第一回流管道，所述第一輸送管道上設有壓力傳感器，所述第一回流管道的一端與第一輸送管道連通，另一端位于所述化學品罐中，所述壓力傳感器檢測所述第一輸送管道內的壓力，并將壓力數據傳輸至控制系統，所述控制系統比較傳輸的壓力與設定的閾值，當傳輸的壓力大于閾值時，開啟所述第一回流管道，所述第一輸送管道內的部分待供應化學品返回至所述第一化學品罐。

6.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述中空柜體中充有壓縮空氣，所述壓縮空氣通過空氣管道與所述中空柜體連通，所述空氣管道上設有過濾器，所述壓縮空氣經過所述過濾器過濾后通入所述中空柜體。

7.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述中空柜體內設有隔板，所述隔板將所述中空柜體分隔為化學品室和運輸管道室，所述隔板內充有經過濾后的氮氣，以隔離所述化學品室和運輸管道室。

8.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述化學品罐上還設有氮氣入口，一部分氮氣經過凈化后通入所述化學品罐。

9.根據權利要求1所述的化學品供應系統，其特征在于，所述化學品供應系統還包括第二化學品供應線，所述第二化學品供應線與所述第一化學品供應線的結構相同。

10.根據權利要求9所述的化學品供應系統，其特征在于，所述第一化學品供應線的第一輸送管道和第二化學品供應線的第二輸送管道之間設有氣動閥，通過氣動閥控制第一輸送管道和第二輸送管道連通或不連通。