[實(shí)用新型]一種小型真空磁控濺射鍍鏌實(shí)驗(yàn)機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820252321.4
• 申請(qǐng)日: 2018-02-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207845766U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李雙江;董順;曹崇友
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 沈陽(yáng)技聯(lián)專利代理有限公司 21205
• 代理人: 張志剛

1.一種小型真空磁控濺射鍍鏌實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于，所述鍍鏌機(jī)包括真空室、支撐真空室的機(jī)臺(tái)；真空室的上端法蘭連接升降樣品臺(tái)總成，下端法蘭連接磁控濺射靶總成；真空室的前端設(shè)有帶觀查窗的門，真空室的后端設(shè)有渦輪分子泵的接口；真空室的左側(cè)設(shè)有一個(gè)磁力傳遞桿，磁力傳遞桿的前端安有機(jī)械手；真空室的右側(cè)設(shè)有一個(gè)過(guò)渡倉(cāng)，過(guò)渡倉(cāng)與真空手套箱相連接，過(guò)渡倉(cāng)前端設(shè)有一個(gè)過(guò)渡倉(cāng)門。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小型真空磁控濺射鍍鏌實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于，所述真空室的左側(cè)設(shè)有磁力傳遞桿，磁力傳遞桿的前端安有機(jī)械手。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小型真空磁控濺射鍍鏌實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于，所述真空室的右側(cè)設(shè)有過(guò)渡倉(cāng)，過(guò)渡倉(cāng)與真空手套箱相連接，過(guò)渡倉(cāng)前端設(shè)有一個(gè)過(guò)渡倉(cāng)門。