[實用新型]一種用于紅外測溫儀溫度校正的視鏡和一種紅外測溫儀的校正裝置有效
| 申請號: | 201820251385.2 | 申請日: | 2018-02-12 |
| 公開(公告)號: | CN207908059U | 公開(公告)日: | 2018-09-25 |
| 發明(設計)人: | 高召帥;李釗;于躍;姜浩;李福中;沈棽 | 申請(專利權)人: | 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司 |
| 主分類號: | G01J5/08 | 分類號: | G01J5/08 |
| 代理公司: | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
| 地址: | 221004 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 視鏡 紅外測溫儀 紅外測溫 硅棒 校正 紅外測溫裝置 本實用新型 雙層視鏡 溫度校正 校正裝置 測量 黑體爐 還原爐 熔硅 玻璃 紅外測量儀 冷卻水夾層 準確度 測量條件 間隔設置 實際測量 誤差控制 多晶硅 輻射體 生產 保證 | ||
1.一種用于紅外測溫儀溫度校正的視鏡,其特征在于,包括雙層視鏡玻璃(101)和設在雙層視鏡玻璃(101)之間的冷卻水夾層(102)。
2.根據權利要求1所述的視鏡,其特征在于,所述雙層視鏡玻璃(101)中一層為石英玻璃,另一層為硅硼玻璃,所述視鏡玻璃通過法蘭連接方式進行固定;所述視鏡還包括冷卻水進口(103)和冷卻水出口(104)。
3.一種紅外測溫儀的校正裝置,其特征在于,包括依次非接觸設置的黑體爐(2)、視鏡(1)和紅外測溫裝置(3),視鏡和紅外測溫裝置間的距離控制在5~10cm,所述黑體爐(2)內設有輻射體(201),所述視鏡(1)包括雙層視鏡玻璃(101)和設在雙層視鏡玻璃(101)之間的冷卻水夾層(102),所述紅外測溫裝置(3)包括紅外測溫儀(301);所述輻射體(201)發射的紅外線透過視鏡(1)聚集到紅外測溫儀(301)上轉化為相應的電學信號,所述電學信號經過紅外測溫儀(301)的放大器和信號處理電路,按照紅外測溫儀(301)內部的算法和目標發射率校正后轉變為黑體爐(2)的溫度值。
4.根據權利要求3所述的校正裝置,其特征在于,所述黑體爐(2)為腔式黑體爐。
5.根據權利要求3所述的校正裝置,其特征在于,所述輻射體(201)的發射率為0.95~1。
6.根據權利要求3所述的校正裝置,其特征在于,所述視鏡(1)的雙層視鏡玻璃中靠近黑體爐的一層為石英玻璃,靠近紅外測溫裝置的一層為硅硼玻璃,所述視鏡玻璃通過法蘭連接方式進行固定;所述視鏡還包括冷卻水進口(103)和冷卻水出口(104)。
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