[實(shí)用新型]一種硅芯安裝裝置、硅芯組件和還原爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820241738.0
• 申請(qǐng)日: 2018-02-11
• 公開（公告）號(hào): CN207918446U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐蘭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐蘭
• 主分類號(hào): C01B33/035
• 分類號(hào): C01B33/035
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

一種硅芯安裝裝置，其包括安裝座，安裝座開設(shè)有用于安裝硅芯的至少兩個(gè)單元安裝槽，單元安裝槽在第一方向上從安裝座的第一端向第二端延伸，單元安裝槽在第二方向上從安裝座的中間位置向邊緣位置延伸。一種硅芯組件，其包括硅芯以及上述硅芯安裝裝置，硅芯安裝于硅芯安裝裝置。一種還原爐，其包括鐘罩、底盤以及上述硅芯組件，硅芯組件安裝于底盤。每個(gè)單元安裝槽內(nèi)安裝獨(dú)立的硅芯，一個(gè)安裝座安裝至少兩個(gè)硅芯，增加了單個(gè)安裝座上與原料氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的硅芯的表面積。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體硅還原爐領(lǐng)域，具體而言，涉及一種硅芯安裝裝置、硅芯組件和還原爐。

背景技術(shù)

晶體硅是制備半導(dǎo)體和光伏電池的原材料。改良西門子法和SiH₄法是國(guó)際上生產(chǎn)晶體硅的主流技術(shù)。還原爐內(nèi)的反應(yīng)氣體在熾熱的硅芯表面發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)生成晶體硅。生產(chǎn)實(shí)際所用的硅芯普遍為單根硅芯，現(xiàn)有技術(shù)中安裝裝置用于安裝單根硅芯。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅芯安裝裝置，其能夠安裝多根硅芯。

本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種硅芯安裝裝置，其包括安裝座，所述安裝座開設(shè)有用于安裝硅芯的至少兩個(gè)單元安裝槽，所述單元安裝槽在第一方向上從所述安裝座的第一端向第二端延伸，所述單元安裝槽在第二方向上從所述安裝座的中間位置向邊緣位置延伸。

一種硅芯組件，其包括硅芯以及上述硅芯安裝裝置，所述硅芯安裝于所述硅芯安裝裝置。

一種還原爐，其包括鐘罩、底盤以及上述硅芯組件，所述硅芯組件通過所述硅芯安裝裝置安裝于所述底盤的電極上。

本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果是：本實(shí)用新型硅芯安裝裝置包括安裝座，安裝座開設(shè)有用于安裝硅芯的至少兩個(gè)單元安裝槽，每個(gè)單元安裝槽內(nèi)安裝獨(dú)立的硅芯，一個(gè)安裝座安裝至少兩個(gè)硅芯，增加了單個(gè)安裝座上與原料氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的硅芯的表面積。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中硅芯安裝裝置的立體示意圖；

圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中硅芯安裝裝置的分解示意圖；

圖3為圖1的俯視圖；

圖4為圖1沿A-A的剖面圖；

圖5為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中硅芯安裝裝置開設(shè)兩個(gè)單元安裝槽的一個(gè)立體示意圖；

圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中硅芯安裝裝置開設(shè)兩個(gè)單元安裝槽的另一個(gè)立體示意圖；

圖7為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中硅芯安裝裝置開設(shè)四個(gè)單元安裝槽的立體示意圖；

圖8為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中硅芯安裝裝置開設(shè)五個(gè)單元安裝槽的立體示意圖；

圖9為本實(shí)用新型第三實(shí)施例中硅芯安裝裝置開設(shè)六個(gè)單元安裝槽的立體示意圖；

圖10為本實(shí)用新型第四實(shí)施例中硅芯安裝裝置的立體示意圖；

圖11為本實(shí)用新型第五實(shí)施例中硅芯安裝裝置的一個(gè)立體示意圖；

圖12為本實(shí)用新型第五實(shí)施例中硅芯安裝裝置的另一個(gè)立體示意圖；

圖13為本實(shí)用新型中硅芯組件的立體示意圖；

圖14為本實(shí)用新型中還原爐的部分截面示意圖；