[實(shí)用新型]一種階梯型頂針有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820236274.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-02-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN207883661U | 公開（公告）日： | 2018-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡毅;蒙國(guó)蓀;楊國(guó)運(yùn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 桂林立德愛博半導(dǎo)體裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/67 | 分類號(hào)： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 桂林市華杰專利商標(biāo)事務(wù)所有限責(zé)任公司 45112 | 代理人： | 周雯 |
| 地址： | 541004 廣西壯*** | 國(guó)省代碼： | 廣西;45 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 頂針 芯片 限位塊 頂針機(jī)構(gòu) 階梯型 推桿 逐漸減小 粘膜 頂桿 套筒 底座 螺母 本實(shí)用新型 碎裂 頂針結(jié)構(gòu) 局部壓強(qiáng) 螺母連接 受力部位 推桿連接 外置電機(jī) 一端連接 上端 脫膜 吸附 吸嘴 下端 穿過 配合 | ||
1.一種階梯型頂針，其特征在于，一種階梯型頂針，包括底座、套筒，還包括設(shè)在套筒內(nèi)的推桿、限位塊、頂針機(jī)構(gòu)；所述推桿的一端穿過底座與調(diào)節(jié)螺母連接，另一端與限位塊的一端連接，限位塊的另一端與頂針機(jī)構(gòu)連接；所述的限位塊，內(nèi)設(shè)有頂桿；所述頂桿的下端與推桿連接，上端與頂針機(jī)構(gòu)連接；調(diào)節(jié)螺母還與外置電機(jī)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種階梯型頂針，其特征在于，所述的限位塊，包括第一限位塊和第二限位塊；第一限位塊上設(shè)有第一彈簧，第二限位塊上設(shè)有第二彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種階梯型頂針，其特征在于，所述的頂針機(jī)構(gòu)，包括吸取平臺(tái)和設(shè)在吸取平臺(tái)內(nèi)的三階梯式頂針平臺(tái)；所述吸取平臺(tái)上設(shè)有吸氣孔；所述三階梯式頂針平臺(tái)，從外至內(nèi)依次包括第一頂針、第二頂針和第三頂針；第一頂針設(shè)在第二限位塊的上端，第二頂針與第二限位塊連接，第三頂針與頂桿的上端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種階梯型頂針，其特征在于，所述的第二頂針和第三頂針為U型頂針，第一頂針為條形頂針。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種階梯型頂針，其特征在于，所述的第一頂針、第二頂針和第三頂針，橫截面為長(zhǎng)方形。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
