[實(shí)用新型]提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820234720.8
• 申請(qǐng)日: 2018-02-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207845765U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅銘桓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣州巴達(dá)精密刀具有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 廣州圣理華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44302
• 代理人: 頓海舟;李唐明

1.提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，包括磁鐵裝夾模塊、靶材固定模塊和冷卻模塊；

所述磁鐵裝夾模塊以環(huán)繞所述靶材固定模塊的方式設(shè)置，所述磁鐵裝夾模塊包括磁鐵安裝夾(101)，磁鐵(102)和磁鐵安裝框(108)；所述磁鐵(102)安裝在所述磁鐵安裝夾(101)內(nèi)部，所述磁鐵安裝夾(101)的外壁上半部設(shè)置有外螺紋，所述磁鐵安裝框(108)的內(nèi)壁上半部設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述磁鐵安裝夾(101)設(shè)置在所述磁鐵安裝框(108)內(nèi)部；通過(guò)外螺紋與內(nèi)螺紋的配合，所述磁鐵安裝夾(101)帶動(dòng)所述磁鐵(102)在所述安裝框(108)內(nèi)旋上旋下；

所述靶材固定模塊包括靶材固定部件(103)和靶材(104)；所述靶材固定部件(103)環(huán)繞所述靶材(104)設(shè)置并對(duì)所述靶材(104)進(jìn)行固定；

所述冷卻模塊與所述靶材固定模塊的下部抵接；所述冷卻模塊包括冷卻水進(jìn)水管(106)和冷卻水出水管(107)，用于冷卻所述靶材(104)；

所述冷卻模塊中心下方設(shè)有外部中心磁鐵(105)，所述外部中心磁鐵(105)用于為所述靶材(104)提供豎直方向的磁場(chǎng)。

2.如權(quán)利要求1所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述靶材(104)包括金屬靶材、陶瓷靶材或合金靶材。

3.如權(quán)利要求1所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述靶材(104)表面涂層后被消耗，形成波浪型的凹陷。

4.如權(quán)利要求1所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述靶材(104)底部通過(guò)增加不同厚度且形狀相同的銅板，用于改變所述靶材(104)在所述靶材固定部件(103)中的高度。

5.如權(quán)利要求4所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述銅板呈圓形。

6.如權(quán)利要求5所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述銅板的徑向尺寸與所述靶材(104)底部徑向尺寸相同。

7.如權(quán)利要求1所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置,其特征在于,所述外部中心磁鐵(105)呈圓柱體狀。

8.如權(quán)利要求1所述的提高靶材利用率及涂層質(zhì)量的裝置，其特征在于，所述磁鐵(102)裝夾在所述磁鐵安裝夾(101)中，通過(guò)內(nèi)螺紋和外螺紋使所述磁鐵安裝夾(101)相對(duì)于所述磁鐵安裝框(108)向內(nèi)或向外移動(dòng)，用于改變所述磁鐵(102)在所述磁鐵安裝框(108)中的高度。