[實用新型]格柵式高通量等離子體反應器

有效

• 申請號: 201820234551.8
• 申請日: 2018-02-09
• 公開（公告）號: CN208561688U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 張婧;任君朋;張樹才;張鐵;李亞輝;石寧;徐偉
• 申請（專利權）人: 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司青島安全工程研究院
• 主分類號: C01B17/04
• 分類號: C01B17/04;C01B3/04
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 陳靜;嚴政

1.一種格柵式高通量等離子體反應器，該反應器具有套筒式結構，且該反應器包括：

內筒(1)，所述內筒(1)上分別設置有反應物入口(11)和產物出口(12)；

外筒(2)，所述外筒(2)嵌套在所述內筒(1)的外部，且所述外筒(2)上分別設置有導熱介質入口(21)和導熱介質出口(22)，由所述導熱介質入口(21)引入的導熱介質能夠包圍在所述內筒(1)的外周，并且所述導熱介質能夠由所述導熱介質出口(22)引出；

高壓電極(3)，所述高壓電極(3)設置在所述內筒(1)中，且所述高壓電極(3)在所述內筒(1)中設置有至少兩層；在各個高壓電極層中，所述高壓電極(3)的個數為兩個以上，各個所述高壓電極(3)彼此平行；

接地電極(4)，形成所述接地電極(4)的材料為固體導電材料，所述接地電極(4)設置在所述內筒(1)中，且所述接地電極(4)在所述內筒(1)中設置有至少兩層；在各個接地電極層中，所述接地電極(4)的個數為兩個以上，各個所述接地電極(4)彼此平行；

阻擋介質(6)，所述阻擋介質(6)設置在所述高壓電極(3)和/或所述接地電極(4)的外表面；

其中，各個所述高壓電極層中的高壓電極與各個所述接地電極層中的接地電極交錯設置，使得各個所述高壓電極層中的相鄰兩個高壓電極之間插入有一個接地電極，從而形成交替含有高壓電極和接地電極的高壓-接地混合層；所述高壓-接地混合層的層數為至少兩層，且各個所述高壓-接地混合層平行設置；在各個所述高壓-接地混合層中，相鄰的高壓電極和接地電極之間有間隙r1，所述r1＞0；以及相鄰兩個所述高壓-接地混合層之間有間隙r2，所述r2＞0。

2.根據權利要求1所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2各自獨立地小于等于100mm。

3.根據權利要求1所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2與所述阻擋介質(6)的厚度D1之比各自獨立地為(0.1～150)：1。

4.根據權利要求3所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2與所述阻擋介質(6)的厚度D1之比各自獨立地為(0.2～100)：1。

5.根據權利要求4所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2與所述阻擋介質(6)的厚度D1之比各自獨立地為(0.5～80)：1。

6.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2與放電區域的長度L₁之間的比例關系各自獨立地為1：(2～1500)；所述放電區域的長度L₁為反應物開始進入由所述高壓電極和接地電極產生的放電場至離開所述放電場的垂直距離。

7.根據權利要求6所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，r1和r2與放電區域的長度L₁之間的比例關系各自獨立地為1：(20～500)。

8.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，各個所述高壓電極(3)彼此并聯連接。

9.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，各個所述接地電極(4)彼此并聯連接。

10.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，形成所述阻擋介質(6)的材料為電絕緣材料。

11.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，該反應器還包括接地線(5)，所述接地線設置在所述外筒(2)的外側壁上，且一端與所述接地電極(4)電連接。

12.根據權利要求1-5中任意一項所述的格柵式高通量等離子體反應器，其中，所述反應物入口(11)設置在所述內筒(1)的上部，以及所述產物出口(12)設置在所述內筒(1)的底部。