[實(shí)用新型]一種壓電石英傳感器鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820222802.0
• 申請(qǐng)日: 2018-02-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207877852U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周朱華;王祖勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興晶控電子有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 李伊飏

1.一種壓電石英傳感器鍍膜裝置，包括蒸鍍室（1）、操作臺(tái)（2）和鍍膜基板（3），所述操作臺(tái)（2）位于蒸鍍室（1）內(nèi)部，所述鍍膜基板（3）位于操作臺(tái)（2）上方，其特征在于：所述鍍膜基板（3）一側(cè)連接有噴孔（7）且噴孔（7）等間距設(shè)置有多組，所述鍍膜基板（3）內(nèi)部設(shè)置有減震彈簧（8），所述鍍膜基板（3）另一側(cè)連接有伸縮軸（9），所述伸縮軸（9）兩側(cè)均連接有加熱板（5），所述蒸鍍室（1）下端連接有底座（4），所述底座（4）內(nèi)部設(shè)置有吸塵器（13），所述吸塵器（13）一端連接有集塵管（14），所述吸塵器（13）通過(guò)集塵管（14）連接有導(dǎo)風(fēng)口（15），所述導(dǎo)風(fēng)口（15）設(shè)置于蒸鍍室（1）內(nèi)側(cè)，所述吸塵器（13）一側(cè)設(shè)置有控制屏（10）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電石英傳感器鍍膜裝置，其特征在于：所述伸縮軸（9）一端設(shè)置有藥液入口（6）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電石英傳感器鍍膜裝置，其特征在于：所述操作臺(tái)（2）內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾持孔（11），所述夾持孔（11）四周均連接有復(fù)位彈簧（12）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電石英傳感器鍍膜裝置，其特征在于：所述控制屏（10）一側(cè)設(shè)置有蓄電池（16），所述加熱板（5）和控制屏（10）均與蓄電池（16）電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電石英傳感器鍍膜裝置，其特征在于：所述底座（4）下端固定連接有防滑腳（17）。