[實用新型]一種靜電卡盤及基板夾持裝置

有效

• 申請號: 201820218084.X
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN207883673U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 李昊軒
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實用新型實施例提供一種靜電卡盤及基板夾持裝置，靜電卡盤包括依次層疊設置的背板、第一絕緣層、電路層及第二絕緣層，所述電路層包括多條第一電極線和多條第二電極線，所述多條第一電極線與所述多條第二電極線相互電絕緣并一一間隔分布；所述電路層包括與所述多條第一電極線電連接的第一電極焊盤，以及與所述多條第二電極線電連接的第二電極焊盤；所述靜電卡盤還包括至少一個保護元件；所述保護元件串接于所述第一電極線中，在達到設定電壓或電流閾值時，斷開所述第一電極線；和/或，所述保護元件串接于所述第二電極線中，在達到設定電壓或電流閾值時，斷開所述第二電極線。本實用新型以實現增強靜電卡盤的可靠性，延長靜電卡盤的使用壽命。

技術領域

本實用新型實施例涉及顯示技術領域，尤其涉及一種靜電卡盤及基板夾持裝置。

背景技術

隨著社會的發展，對平板顯示設備的需求日益增加。在平板顯示器(FPD)制造工藝過程中，特別是針對液晶顯示器(LCD)以及有機顯示發光顯示器(OLED)，常使用吸盤或卡盤來支撐和吸附工件。常用的吸盤或卡盤有真空吸盤與靜電卡盤(Electro Static Chuck，ESC)。

其中，雙電級靜電卡盤與真空吸盤相比具有其特有優點。由于雙電級靜電卡盤是通過被吸附物和兩電極之間產生的庫侖力對工件進行均勻的吸附固定，因此可以保證工件在被吸附狀態下能夠保持較高的平面度，這符合此行業中相關的工件加工要求。但靜電卡盤在使用過程中，一旦絕緣層或電路層中混入雜質或產生破孔，絕緣層的絕緣特性便會被損壞，兩電極之間的高壓電場會導致絕緣層的擊穿和電極間的短路，使得卡盤無法再繼續使用，且維修卡盤需要整板更換絕緣層，工藝復雜，價格昂貴。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種靜電卡盤及基板夾持裝置，以實現增強靜電卡盤的可靠性，延長靜電卡盤的使用壽命。

第一方面，本實用新型實施例提供一種靜電卡盤，包括依次層疊設置的背板、第一絕緣層、電路層和第二絕緣層，所述電路層包括多條第一電極線和多條第二電極線，所述多條第一電極線與所述多條第二電極線相互電絕緣并一一間隔分布；所述電路層包括與所述多條第一電極線電連接的第一電極焊盤，以及與所述多條第二電極線電連接的第二電極焊盤；

所述靜電卡盤還包括至少一個保護元件；所述保護元件串接于所述第一電極線中，在達到設定電壓或電流閾值時，斷開所述第一電極線；和/或，所述保護元件串接于所述第二電極線中，在達到設定電壓或電流閾值時，斷開所述第二電極線。

進一步地，所述多條第一電極線或所述多條第二電極線中的每一條串接一個所述保護元件。

進一步地，所述多條第一電極線或所述多條第二電極線中的每一條串接一個所述保護元件。

進一步地，所述背板為金屬板。

進一步地，所述背板遠離所述電路層一側設置有至少一個安裝槽；每一所述保護元件位于一個所述安裝槽內。

進一步地，所述靜電卡盤還包括至少一個保護蓋；所述保護蓋與所述安裝槽一一對應設置，用于保護所述安裝槽中的所述保護元件。

進一步地，所述保護蓋的材質為透明材質。

進一步地，所述保護元件為保險絲。

進一步地，所述保護元件為漏電保護開關。

第二方面，本實用新型實施例提供一種基板夾持裝置，包括第一方面任一項所述的靜電卡盤。