[實用新型]一種硅片切割機工作臺

有效

• 申請號: 201820205637.8
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN208232107U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 施文周
• 申請（專利權）人: 江蘇利奧新材料科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

本實用新型公開了一種硅片切割機工作臺，結構中包括壓板、多個通孔、噴頭、弧形水槽及工作臺，壓板位于弧形水槽上方，弧形水槽以滿焊的形式相固定，壓板的外壁與弧形水槽的內壁相密封，多個通孔均勻設置在壓板上，所述多個通孔為圓柱形，多個通孔與壓板的水平面成斜角，弧形水槽鑲嵌在工作臺的臺面里，噴頭設置在工作臺的側面，噴頭高于壓板，噴頭的出水口與所述壓板形成夾角β，夾角β為20度?33度，噴頭為半球形，噴頭的中心平面上均勻分布多個圓柱形出水口，工作臺為長方體，壓板為金屬板，弧形水槽為一端開口的長方形構件，噴頭噴出的水直接沖洗壓板，流入弧形水槽，弧形水槽為一端開口的長方形構件，可在開口端收集廢水，非常方便，省力，可循環利用，保護了環境。

技術領域

本實用新型涉及機械制造技術領域，具體是涉及一種硅片切割機工作臺。

背景技術

硅片，是制作集成電路的重要材料，自動化和計算機等技術發展，使得硅片已廣泛使用，硅片的切割也變的重要起來，現有技術中的硅片切割機的工作臺，包括工作臺，該結構的工作臺需要清洗時，要人工提水清洗，不僅費力，且清洗后的水不能回收、利用，造成了水資源的浪費。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅片切割機工作臺，該硅片切割機工作臺在硅片切割完成后，可通過直接沖洗工作臺表面，將廢水收集、利用，不僅提高了其環保性，且大大節約了能源。

本實用新型通過以下技術方案實現的：

一種硅片切割機工作臺，包括工作臺，其中，還包括壓板、多個通孔、噴頭、弧形水槽，所述壓板位于弧形水槽上方，所述弧形水槽以滿焊的形式相固定，所述壓板的外壁與弧形水槽的內壁相密封，所述多個通孔均勻設置在壓板上，所述多個通孔為圓柱形，所述多個通孔與壓板的水平面成斜角a，所述斜角a的角度為30度-60度，所述弧形水槽鑲嵌在工作臺的臺面里，所述弧形水槽的弧度為b，所述弧度b為115度，所述噴頭設置在工作臺的側面，所述噴頭高于壓板，所述噴頭的中心平面上均勻分布多個圓柱形出水口，所述出水口與所述壓板形成夾角β，所述夾角β為20度-33度，所述噴頭為半球形，所述工作臺為長方體，所述壓板為金屬板，所述弧形水槽為一端開口的長方形構件。進一步，上述的硅片切割機工作臺，其中，所述壓板的表面上覆有防腐層。

進一步，上述的硅片切割機工作臺，其中，所述噴頭的外表面、所述弧形水槽的內壁及所述工作臺的表面上均設有防腐層。

本實用新型的突出有益效果：

由于硅片切割機工作臺，其中包括壓板、多個通孔、噴頭、弧形水槽及工作臺，壓板位于弧形水槽上方，弧形水槽以滿焊的形式相固定，壓板的外壁與弧形水槽的內壁相密封，壓板為金屬板，多個通孔均勻設置在壓板上，噴頭噴出的水直接沖洗壓板，流入弧形水槽，弧形水槽為一端開口的長方形構件，可在開口端收集廢水，非常方便，省力，可循環利用，保護了環境。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型中壓板的結構示意圖。

圖3為本實用新型的側面圖。

圖4為本實用新型中噴頭的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步的詳細說明