[實用新型]一種簡易的PVD真空鍍膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820205326.1 | 申請日: | 2018-02-06 |
| 公開(公告)號: | CN208008879U | 公開(公告)日: | 2018-10-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃正勇;周文忠;黃國輝;黃建朝;吳迪 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞市寶鈦涂層科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253 | 代理人: | 馮子玲 |
| 地址: | 523000 廣東省東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 鍍膜倉 真空鍍膜裝置 本實用新型 真空泵 支撐架 簡易 頂部安裝 鍍膜技術(shù) 鍍膜效率 加熱機構(gòu) 內(nèi)部連通 抽氣口 密封蓋 底端 鍍膜 鉸接 | ||
本實用新型涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種簡易的PVD真空鍍膜裝置,包括鍍膜倉,所述鍍膜倉頂部鉸接有密封蓋,所述鍍膜倉的底部設(shè)有支撐架,所述支撐架的頂部安裝有真空泵,所述真空泵的抽氣口與鍍膜倉內(nèi)部連通,所述鍍膜倉內(nèi)部底端設(shè)有加熱機構(gòu)。本實用新型,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,鍍膜均勻,使用效果好,有效的提高了鍍膜效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種簡易的PVD真空鍍膜裝置。
背景技術(shù)
物理氣相沉積(PVD)是通過蒸發(fā),電離或者濺射等方式,產(chǎn)生金屬離子并成績在基板表面。物理氣相成績鍍膜技術(shù)主要分為三類,真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍。其中真空蒸發(fā)鍍膜是借助于鎢絲等材料對擬鍍金屬塊進(jìn)行加熱,因為其相比于電離或濺射等方式而言,相對簡單的工作原理被廣泛的引用于各個領(lǐng)域。然而現(xiàn)有的真空蒸發(fā)鍍膜機結(jié)構(gòu)復(fù)雜、鍍膜效果不理想。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜,鍍膜效果不理想的缺點,而提出的一種簡易的PVD真空鍍膜裝置。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用了如下技術(shù)方案:
設(shè)計一種簡易的PVD真空鍍膜裝置,包括鍍膜倉,所述鍍膜倉頂部鉸接有密封蓋,所述鍍膜倉的底部設(shè)有支撐架,所述支撐架的頂部安裝有真空泵,所述真空泵的抽氣口與鍍膜倉內(nèi)部連通,所述鍍膜倉內(nèi)部底端設(shè)有加熱機構(gòu),所述加熱機構(gòu)上方鍍膜倉內(nèi)部水平連接有支撐板,所述支撐板上開設(shè)有安裝口,所述安裝口內(nèi)部固定安裝有風(fēng)罩,所述風(fēng)罩開口朝下,所述風(fēng)罩內(nèi)部安裝有風(fēng)扇,所述風(fēng)罩上方設(shè)有鍍膜機構(gòu),所述鍍膜機構(gòu)包括排氣硬管,所述排氣硬管頂部設(shè)有噴頭,所述排氣硬管的兩端底部均設(shè)有第一滑塊,所述排氣硬管與第一滑塊之間通過第二卡環(huán)固定連接,兩個所述第一滑塊分別滑動安裝在滑桿上,所述滑桿水平固定連接在鍍膜倉兩端的內(nèi)壁上,所述排氣硬管與風(fēng)罩之間通過兩根排氣軟管連通,兩根滑桿之間設(shè)有驅(qū)動機構(gòu),在所述噴頭的上方鍍膜倉兩端的內(nèi)壁上對稱安裝有限位板,兩塊所述限位板頂部共同安裝有樣板,所述樣板上表面設(shè)有多個夾緊裝置。
優(yōu)選的,所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機,所述電機固定安裝在電機支架上,所述電機支架固定連接在鍍膜倉的外壁上,所述電機的輸出軸貫穿鍍膜倉且端部水平連接有螺桿,所述螺桿遠(yuǎn)離電機的一端轉(zhuǎn)動連接在鍍膜倉內(nèi)壁上,在所述螺桿上通過螺紋連接有第二滑塊,兩塊所述第一滑塊與第二滑塊之間均通過連接桿連接,且所述排氣軟管與連接桿之間通過第一卡環(huán)固定連接。
優(yōu)選的,所述支撐架底部設(shè)有電瓶盒,所述電瓶盒內(nèi)部安裝有蓄電瓶,所述真空泵、電機和風(fēng)扇均通過導(dǎo)線與蓄電瓶連接,且所述真空泵與蓄電瓶之間的導(dǎo)線上安裝有開關(guān)。
優(yōu)選的,所述加熱機構(gòu)包括底座,所述底座固定連接在鍍膜倉內(nèi)部底端,所述底座上方開設(shè)有安裝槽,所述安裝槽內(nèi)部水平設(shè)有金屬棒,所述金屬棒的外表面纏繞有鎢絲,所述鎢絲通過導(dǎo)線與蓄電瓶連接。
優(yōu)選的,所述夾緊裝置包括T型桿,所述T型桿一端貫穿密封蓋且端部垂直連接有壓板,在所述T型桿上套設(shè)有彈簧,所述彈簧的兩端分別固定連接在壓板的頂部與密封蓋的底部。
本實用新型提出的一種簡易的PVD真空鍍膜裝置,有益效果在于:將樣板放置在限位板上,關(guān)上密封蓋,通過真空泵將鍍膜倉內(nèi)部的空去抽出,再通過加熱機構(gòu)加熱蒸發(fā),從而風(fēng)扇將蒸發(fā)的蒸汽吸入到風(fēng)罩內(nèi)部,再經(jīng)過排氣軟管輸送到排氣硬管內(nèi)部,排氣硬管內(nèi)部的蒸汽通過噴頭噴附在樣板表面即可。本實用新型,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,鍍膜均勻,使用效果好,有效的提高了鍍膜效率。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的一種簡易的PVD真空鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實用新型提出的一種簡易的PVD真空鍍膜裝置的左視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本實用新型提出的一種簡易的PVD真空鍍膜裝置的風(fēng)罩底部結(jié)構(gòu)示意圖;
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





