[實用新型]一種MEMS加速度計

有效

• 申請號: 201820204732.6
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN208314017U
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 鄒波;鄭青龍
• 申請（專利權）人: 深迪半導體（上海）有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS加速度計，其特征在于，包括：基板、可動部件以及固定電極組；

所述基板表面具有錨定區域；

所述可動部件通過支撐梁與所述錨定區域連接，并懸置于所述基板上方，所述可動部件包括第一質量塊和第二質量塊；

所述第一質量塊的中部具有第一鏤空區域，所述第一鏤空區域為“工”形，所述第二質量塊位于所述第一鏤空區域中；

所述固定電極組包括第一電極組，所述第一電極組固定于所述基板表面，位于所述基板與所述可動部件之間，并與所述第一質量塊和所述第二質量塊形成Z軸檢測電容組，以檢測沿Z軸輸入的加速度，所述Z軸為垂直于所述可動部件所在平面的方向。

2.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第一電極組包括至少5對固定電極對E1-E5，沿Y軸方向依次設置，其中固定電極對E1、E3、E5與所述第一質量塊形成第一Z軸檢測電容組，固定電極對E2、E4與所述第二質量塊形成第二Z軸檢測電容組，所述Y軸方向位于所述可動部件所在平面內，并與所述Z軸方向垂直。

3.如權利要求2所述的MEMS加速度計，其特征在于，每對所述固定電極對E1-E5分別包括沿X軸設置的兩個固定電極，位于錨定區域的兩側，所述X軸與所述Y軸和所述Z軸均垂直。

4.如權利要求2所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述固定電極對E2與E4分別都為一個整體電極。

5.如權利要求2所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述固定電極組還包括第二電極組和第三電極組，通過錨點固定于所述基板上方，并與所述可動部件位于同一層，所述第二電極組和所述第三電極組分別與所述第一質量塊形成X軸檢測電容組和Y軸檢測電容組。

6.如權利要求5所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第一質量塊具有第二鏤空區域和第三鏤空區域，所述第二電極組位于所述第二鏤空區域中，所述第三電極組位于所述第三鏤空區域中。

7.如權利要求6所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第二鏤空區域和所述第三鏤空區域分別包括偶數個子區域，沿X軸位于所述錨定區域的兩側。

8.如權利要求5所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第二電極組和所述第三電極組均為梳齒電極。

9.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述第一質量塊和所述第二質量塊通過轉動梁組連接，使得所述第一質量塊與所述第二質量塊受到沿Z軸輸入的加速度時在Z軸方向上平動，且運動方向相反。

10.如權利要求9所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述轉動梁組包括4個轉動梁，所述轉動梁通過彈性梁與所述第一質量塊和所述第二質量塊連接，所述轉動梁的中部連接至所述支撐梁，使得所述第一質量塊和所述第二質量塊通過所述轉動梁組形成杠桿結構。

11.如權利要求1所述的MEMS加速度計，其特征在于，所述錨定區域被所述第一鏤空區域分隔為兩部分，每部分至少具有一個錨點。