[實用新型]雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置

有效

• 申請號: 201820186337.X
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN208087748U
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 何世武
• 申請（專利權）人: 何世武
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12
• 代理公司: 深圳叁眾知識產權代理事務所(普通合伙) 44434
• 代理人: 杜立光

1.一種雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，包括蝕刻廢液儲存槽、隔膜電解槽、再生液儲存槽、水汽混合器、循環槽及鹽酸供給裝置，所述隔膜電解槽包括陰極區和陽極區，所述蝕刻廢液儲存槽與所述隔膜電解槽相連，用于儲存蝕刻產線的蝕刻廢液，并提供至隔膜電解槽，所述再生液儲存槽分別與所述隔膜電解槽和循環槽相連，用于儲存隔膜電解槽的再生蝕刻液并提供至循環槽，所述水汽混合器用于將隔膜電解槽的氯氣導入至所述循環槽中，所述循環槽用于將所述再生蝕刻液提供至蝕刻生產線，所述雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置還包括氯化銨供給裝置，所述氯化銨供給裝置包括氯化銨儲存槽、泵體及管道。

2.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，所述氯化銨供給裝置與所述蝕刻廢液儲存槽相連通，將氯化銨提供至所述蝕刻廢液儲存槽。

3.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，所述氯化銨供給裝置與所述再生液儲存槽相連通，將氯化銨提供至所述再生液儲存槽。

4.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，在所述隔膜電解槽和所述再生液儲存槽之間設置有再生液溢流槽。

5.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，還包括管道風機，所述管道風機的進氣口與所述陽極區的排氣口相連，所述管道風機的出氣口與水汽混合器的進氣口相連。

6.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，所述陰極區內設置陰極板，所述陰極板與直流電源的負極相連，所述陰極板的材質為金屬鈦，所述陰極板表面不含涂層。

7.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，所述陽極區設有陽極板，所述陽極板與直流電源的正極相連，所述陽極板的材質為金屬鈦，所述陽極板表層含有金屬涂層。

8.如權利要求1所述的雙組份酸性蝕刻液循環再生裝置，其特征在于，所述所述隔膜電解槽包括多個陰極區。