[實用新型]一種環保的全自動插片清洗一體機有效
| 申請號： | 201820171574.9 | 申請日： | 2018-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN208111403U | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發明（設計）人： | 邱德民 | 申請（專利權）人： | 天津創昱達科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14 |
| 代理公司： | 天津盈佳知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12224 | 代理人： | 張淑華 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳送帶 上側壁 底板 清洗槽 清洗 本實用新型 插片盒 儲水槽 一體機 硅片 插片 隔板 環保 導向裝置 工作效率 過濾循環 人工搬運 自動插片 自動清洗 插片槽 氣缸 水泵 | ||
1.一種環保的全自動插片清洗一體機，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上側壁設有第一傳送帶(2)和第二傳送帶(3)，所述第一傳送帶(2)位于第二傳送帶(3)的正上方，所述第一傳送帶(2)的上側壁依次設有多個硅片(4)，所述第一傳送帶(2)靠近第二傳送帶(3)的一側設有導向裝置(5)，所述第二傳送帶(3)的上側壁設有多個插片盒(6)，每個所述插片盒(6)的上側壁均開設有多個插片槽，所述底板(1)的上側壁設有清洗槽(7)，所述清洗槽(7)的內部設有隔板(8)，所述清洗槽(7)的內底部設有第一氣缸(9)和兩個儲水槽(11)，每個所述儲水槽(11)的內底部均設有水泵(12)，所述清洗槽(7)的上側壁設有兩個固定板，每個所述水泵(12)的輸出端均連接有輸水管(13)，每個所述輸水管(13)遠離水泵(12)的一端均貫穿儲水槽(11)和清洗槽(7)的內壁延伸至清洗槽(7)的外部并插設在固定板上，每個所述輸水管(13)的末端均連接有噴頭(14)，所述第一氣缸(9)的驅動端貫穿隔板(8)并連接有托盤(10)。
2.根據權利要求1所述的一種環保的全自動插片清洗一體機，其特征在于，所述插片槽與硅片(4)的大小相匹配。
3.根據權利要求1所述的一種環保的全自動插片清洗一體機，其特征在于，所述托盤(10)位于第二傳送帶(3)遠離第一傳送帶(2)的一側。
4.根據權利要求1所述的一種環保的全自動插片清洗一體機，其特征在于，所述第一氣缸(9)的驅動端與隔板(8)的連接處和每個輸水管(13)與儲水槽(11)的連接處均設有密封圈。
5.根據權利要求1所述的一種環保的全自動插片清洗一體機，其特征在于，所述底板(1)的上側壁還設有固定座(15)，所述固定座(15)內設有第二氣缸(16)，所述第二氣缸(16)的驅動端與清洗槽(7)的一側側壁固定連接。
6.根據權利要求1所述的一種環保的全自動插片清洗一體機，其特征在于，所述隔板(8)的上開設有兩個安裝口，每個所述安裝口內均裝設有濾網(17)，每個所述濾網(17)分別位于儲水槽(11)的正上方。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
