[實用新型]一種在線檢測研磨墊使用周期的裝置有效
| 申請號： | 201820163104.8 | 申請日： | 2018-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN207937389U | 公開（公告）日： | 2018-10-02 |
| 發明（設計）人： | 戴文俊 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨墊 電極 研磨墊修整器 使用周期 壓力機構 下電極 本實用新型 使用壽命 在線檢測 測量 算法控制單元 側面接觸 大小變化 回路電阻 在線監控 消耗率 電阻 固設 聯動 下端 修整 電源 量化 | ||
1.一種在線檢測研磨墊使用周期的裝置，設于研磨墊修整器內部，所述研磨墊修整器內部設有壓力機構，其特征在于，所述裝置包括：
上電極，聯動設于壓力機構的下端；
下電極，固設于研磨墊修整器內部的底面上；
電源，用于與上電極和下電極形成測量回路；
算法控制單元，用于當上電極隨壓力機構下降進行研磨墊修整時，根據上電極與下電極之間側面接觸面積的變化所引起的測量回路電阻變化，計算研磨墊消耗率，以計算出研磨墊使用壽命。
2.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述上電極與下電極的接觸側面形成楔形配合面。
3.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述上電極為頂邊大于底邊的直角倒梯形體，下電極為底邊大于頂邊的直角正梯形體。
4.根據權利要求1-3任意一項所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述下電極采用可調式繞線電阻結構。
5.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述下電極與電源、電源連接導線安裝于研磨墊修整器內部的底面上。
6.根據權利要求1或5所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述電源為直流電源。
7.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述上電極為正電極、下電極為負電極；或者，所述上電極為負電極、下電極為正電極。
8.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述壓力機構下方聯動設有研磨墊修正盤。
9.根據權利要求1所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述算法控制單元設有輸出單元，所述輸出單元用于輸出算法控制單元的計算結果。
10.根據權利要求1或9所述的在線檢測研磨墊使用周期的裝置，其特征在于，所述算法控制單元還設有報警單元，所述報警單元用于在測量回路電阻或電流超出電阻或電流閾值時輸出警報。
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