[實用新型]一種反應燃燒器組合部件和二氧化硅疏松體的沉積爐

有效

• 申請號: 201820162006.2
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN208182839U
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發明（設計）人: 聶蘭艦;向在奎;饒傳東;張辰陽;賈亞男;符博;王慧;邵竹鋒;王蕾;王宏杰
• 申請（專利權）人: 中國建筑材料科學研究總院有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

本實用新型是關于一種反應燃燒器組合部件和二氧化硅疏松體的沉積爐，其中，反應燃燒器組合部件包括多個反應燃燒器，定義組合部件的中心位置為中心點，以所述的中心點為原點、以原點到反應燃燒器的距離為半徑畫圓，得到至少兩個預設圓，每個預設圓的圓周上至少設置有一個反應燃燒器。采用本實用新型提供的組合部件進行二氧化硅疏松體的沉積，無需進行水平方向上的移動，即可得到完整的二氧化硅顆粒沉積面。簡化了制備過程。

技術領域

本實用新型屬于石英玻璃生產技術領域，特別是涉及一種反應燃燒器組合部件、大尺寸二氧化硅疏松體及其制備方法和裝置。

背景技術

目前，石英玻璃的制備主要有電熔、氣煉、化學氣相沉積和等離子化學氣相沉積等直接一步法熔制工藝，以及間接合成二步法制備工藝。其中，直接法制備石英玻璃是指在高溫條件下將石英砂粉料直接熔制成石英玻璃，或者將含硅化合物經汽化后在氫氧火焰或者等離子體火焰中發生化學反應并沉積形成石英玻璃。間接合成二步法制備工藝是指將含硅化合物經汽化后在低溫的燃燒火焰中發生化學反應生成二氧化硅顆粒并沉積形成二氧化硅疏松體，再將二氧化硅疏松體在一定溫度下進行燒結玻璃化制得石英玻璃。由于間接合成二步法制備工藝具有沉積溫度低、缺陷濃度可控等優點，該工藝技術已成為當今研究熱點。

現有的二氧化硅疏松體沉積工藝主要有兩種，第一種是軸向化學氣相沉積，即通過燃燒器反應生成的二氧化硅顆粒斜向上逐步沉積到垂直并旋轉的沉積基礎桿上，該工藝技術是依靠基礎桿吊拉著沉積的疏松體，難以沉積制備出大尺寸的二氧化硅疏松體，而且，這種工藝制備的疏松體均勻性相對較差；第二種是立式化學氣相沉積，即燃燒器向下沉積在旋轉的基礎靶面上，而且使燃燒器往復長距離移動，但是，這種工藝制備的二氧化硅疏松體極易開裂。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于，提供一種大尺寸二氧化硅疏松體及其制備方法和裝置，所要解決的技術問題是，克服現有的采用間接合成兩步法制備石英玻璃過程中，難以制備出大尺寸的疏松體、以及疏松體沉積過程中極易開裂等技術問題。本實用新型提供的二氧化硅疏松體的制備方法和裝置，使疏松體在沉積過程中溫度分布均勻，進而制備得到了密度均勻、完整一致的大尺寸的二氧化硅疏松體。

本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。

依據本實用新型提出的一種反應燃燒器組合部件，所述的組合部件包括多個反應燃燒器，定義組合部件的中心位置為中心點，以所述的中心點為原點、以原點到反應燃燒器的距離為半徑畫圓，得到至少兩個預設圓，每個預設圓的圓周上至少設置有一個反應燃燒器。

本實用新型的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。

優選的，前述的反應燃燒器組合部件，以半徑從小到大的順序，所述的預設圓至少包括依次排布第一預設圓、第二預設圓，所述的第一預設圓的圓周上設置的反應燃燒器的數量不大于第二預設圓的圓周上設置的反應燃燒器的數量。

優選的，前述的反應燃燒器組合部件，以半徑從小到大的順序，所述的預設圓至少包括依次排布第一預設圓、第二預設圓和第三預設圓，且，第一預設圓、第二預設圓與第三預設圓的圓周上設置的反應燃燒器的數量相同，定義第二預設圓的半徑與第一預設圓的半徑之差為第一值，定義第三預設圓的半徑與第二預設圓的半徑之差為第二值，所述的第一值大于第二值。

優選的，前述的反應燃燒器組合部件，還包括根據所述的預設圓設置的一個或多個反應燃燒器定位裝置。

優選的，前述的反應燃燒器組合部件，還包括直線型的一個或多個反應燃燒器定位裝置。

本實用新型的目的及解決其技術問題還采用以下的技術方案來實現。

依據本實用新型提出的一種二氧化硅疏松體的沉積爐，所述的沉積爐內設置有前述中任一項所述的反應燃燒器組合部件。

本實用新型的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。