[實用新型]砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構

有效

• 申請號: 201820161861.1
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN207900921U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 孫家全;葉琳琳;徐長遠
• 申請（專利權）人: 沈陽漢為科技有限公司
• 主分類號: B24B41/02
• 分類號: B24B41/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構。該砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構包括：旋轉平臺模塊、同步帶、驅動電機裝配、工作盤，所述旋轉平臺模塊上設有工作盤，所述旋轉平臺模塊通過同步帶連接到驅動電機裝配，所述旋轉平臺模塊與驅動電機裝配下方設有承載用的安裝板，所述工作盤與旋轉平臺模塊之間設有陶瓷間隔盤。本實用新型提供的砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構，在確保運轉精度的前提下，減小設備外形尺寸，便于整機的尺寸減小和新功能組件的安裝，并且，在成本上也有所降低。

技術領域

本發明涉及劃片機技術領域，特別涉及一種砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構。

背景技術

砂輪劃片機是半導體分裝過程的關鍵設備，其工作原理是強力磨削，而刀片是強力磨削的執行部件。砂輪劃片機刀片是環形結構，安裝于空氣靜壓主軸的電機軸端上。工作時，在空氣靜壓主軸電機的驅動下，以最高可達到60000r/min的轉速來實現高速劃切。

由于刀片特殊的工作性質，在劃切生產過程中，經常出現刀片磨損的狀況，此時如果繼續劃切，就會影響劃切質量，甚至是設備損壞。所以為了保證劃切工件的劃切質量，必須對刀片進行定時高度檢測，檢測出磨損量并及時給予補償，而當刀片磨損量超過一定值時，則報警提示更換刀片，從而保證設備穩定工作，確保劃切繼續進行。

目前砂輪劃片機旋轉機構采用的是渦輪渦桿驅動與DD馬達直接驅動兩種形式，但常用形式普遍存在加工復雜，裝配繁瑣，價格昂貴等缺陷。

發明內容

針對現有技術的上述缺陷，本實用新型提供的砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構，解決了現有旋轉工作平臺在技術上和成本上存在的問題。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

砂輪劃片機搭載的工作平臺旋轉機構包括：旋轉平臺模塊、同步帶、驅動電機裝配、工作盤，所述旋轉平臺模塊上設有工作盤，所述旋轉平臺模塊通過同步帶連接到驅動電機裝配，所述旋轉平臺模塊與驅動電機裝配下方設有承載用的安裝板，所述工作盤與旋轉平臺模塊之間設有陶瓷間隔盤，所述旋轉平臺模塊與驅動電機裝配通過旋轉驅動模塊控制，所述旋轉驅動模塊包括：電機驅動模塊、驅動轉角確定模塊、工作盤轉角確定模塊、提示模塊、轉角補償值模塊，所述驅動轉角確定模塊通過電機驅動模塊與驅動電機裝配相連，所述轉角補償值模塊通過提示模塊連接工作盤轉角確定模塊，所述工作盤轉角確定模塊連接旋轉平臺模塊。

其中，旋轉平臺模塊包括：旋轉平臺外轉體、旋轉平臺軸承外徑壓盤、旋轉平臺軸承內徑壓盤、旋轉平臺軸承內徑墊圈、旋轉平臺軸承外徑墊圈、角接觸球軸承、旋轉平臺空心軸、旋轉平臺帶輪，所述旋轉平臺外轉體外側設有旋轉平臺帶輪，內側設有旋轉平臺空心軸，所述旋轉平臺空心軸上方設有旋轉平臺軸承外徑壓盤和旋轉平臺軸承內徑壓盤，所述角接觸球軸承設置在旋轉平臺空心軸與旋轉平臺外轉體之間，角接觸球軸承內側設有轉平臺軸承內徑墊圈，外側設有旋轉平臺軸承外徑墊圈。

其中，驅動電機裝配包括：驅動伺服電機、驅動電機帶輪、電機安裝架，所述電機安裝架上設有驅動伺服電機，所述驅動伺服電機與驅動電機帶輪相連。

其中，旋轉平臺模塊支撐工作盤并為工作盤提供旋轉服務。

其中，同步帶將驅動伺服電機提供旋轉傳遞到旋轉平臺模塊。

其中，所述驅動電機裝配為旋轉機構提供旋轉驅動。

旋轉平臺模塊，用于支撐工作盤并為工作盤提供旋轉服務；

同步帶，用于將驅動電機提供旋轉傳遞到旋轉平臺模塊；

驅動電機裝配，用于為旋轉機構提供旋轉驅動；

工作盤，用于支撐工作用真空吸盤，并且提供高精度平行度技術指標；

安裝板，用于承載所有安裝件；