[實用新型]一種高純稀有氣體氣瓶預處理系統

有效

• 申請號: 201820156942.2
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN208058409U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 李軍;李耀;石慶;樂園;高蕾
• 申請（專利權）人: 邯鄲鋼鐵集團有限責任公司;河鋼股份有限公司邯鄲分公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 13108
• 代理人: 李桂琴

1.一種高純稀有氣體氣瓶預處理系統，其特征在于：它包括裝有氣瓶組（4）的烘箱（1）、高壓氮氣供應裝置和回收氣囊（2）；高壓氮氣供應裝置通過主管道（3）與氣瓶組（4）連接，主管道（3）上分別連接放空管（5）和支管道（6），支管道（6）與回收氣囊（2）連接；主管道（3）上安裝有氣體控制閥（7），支管道（6）上安裝有回收控制閥（8），放空管（5）上安裝有放空閥（9）。

2.如權利要求1所述的一種高純稀有氣體氣瓶預處理系統，其特征在于：所述高壓氮氣供應裝置包括通過主管道（3）順序連接的液氮貯槽（10）、液氮泵（11）、空浴式汽化器（12）、高壓氮氣出口閥（13）和過濾器（14）；在高壓氮氣出口閥（13）兩側的主管道（3）上分別安裝過濾器側壓力表（18）和汽化器側壓力表（15），烘箱（1）上安裝有溫度表（16）。

3.如權利要求2所述的一種高純稀有氣體氣瓶預處理系統，其特征在于：所述液氮泵（11）和空浴式汽化器（12）之間的主管道（3）上安裝止回閥（17），高壓氮氣出口閥（13）和汽化器側壓力表（15）之間的主管道（3）上安裝有安全閥（19），回收氣囊（2）和回收控制閥（8）之間的支管道（6）上安裝有安全閥（19）。