[實用新型]多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820155067.6
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN207873417U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設計）人: 趙裕興;郭良
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：依光路方向設置有：

激光器(1)，輸出光束；

擴束鏡(4)，對從激光器(1)輸出光束的直徑及發(fā)散角度進行連續(xù)調(diào)節(jié)；

第一反射單元，將擴束鏡(4)出射的光束反射至激光光束首次整形裝置(7)；

光束首次整形裝置(7)，將能量呈高斯分布的激光光束進行光束整形，整形后的光束能量分布于一個環(huán)形或多個環(huán)形區(qū)域內(nèi)；

光束二次整形裝置(8)，將首次整形過后的激光光束進行再次整形，對激光光束能量分布及大小調(diào)節(jié)，動態(tài)控制焦點分布范圍；

第二反射單元，將二次整形后激光光束入射至聚焦鏡(11)；

聚焦鏡(11)，將第二反射單元反射的光束進行聚焦，激光光束形成有限范圍內(nèi)分布的多焦點，焦點分布范圍包含被加工對象；

X-Y軸運動平臺(2)，承載被加工對象，相對于聚焦鏡(11)運動。

2.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述激光器(1)為脈沖寬度小于100納秒、波長可選范圍343～2000納米的脈沖激光器。

3.根據(jù)權利要求2所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述激光器(1)為脈寬范圍7～15皮秒、波長1030nm或1064nm的脈沖激光器。

4.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述擴束鏡(4)為具有可調(diào)倍率及改變發(fā)散角的擴束鏡。

5.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述第一反射單元包含依光路方向布置的第一反射鏡(5)和第二反射鏡(6)。

6.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述光束首次整形裝置(7)為空間光調(diào)制器、可變形反射鏡或衍射光學透鏡。

7.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述光束二次整形裝置(8)為可調(diào)節(jié)光闌。

8.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述第二反射單元包含依光路方向依次布置的第三反射鏡(9)和第四反射鏡(10)。

9.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：所述聚焦鏡(11)安裝于Z軸升降運動單元(3)上。

10.根據(jù)權利要求1所述的多焦點動態(tài)分布激光加工脆性透明材料的裝置，其特征在于：還包含控制系統(tǒng)(100)和光束二次整形裝置控制單元(200)，控制系統(tǒng)(100)與光束二次整形裝置控制單元(200)和X-Y軸運動平臺(2)控制連接，光束二次整形裝置控制單元(200)與光束二次整形裝置(8)控制連接。