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[實用新型]多通道集成濾光片的漫反射光隔離結構有效

專利信息
申請號: 201820151806.4 申請日: 2018-01-30
公開(公告)號: CN208125944U 公開(公告)日: 2018-11-20
發明(設計)人: 周東平 申請(專利權)人: 蘇州晶鼎鑫光電科技有限公司
主分類號: G02B1/10 分類號: G02B1/10;G02B5/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215000 江蘇省蘇州市工業園區婁*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 金屬膜層 黑鉻 集成濾光片 多通道 噴砂處理 本實用新型 剩余反射率 隔離結構 漫反射光 消光層 光學透過性能 工作性能 光學薄膜 基片表面 使用壽命 有效實現 漫反射 氧化物 粗糙 隔離
【權利要求書】:

1.一種多通道集成濾光片的漫反射光隔離結構,其特征在于,包括設置在基片表面的噴砂處理面,所述噴砂處理面的分布區域與多通道集成濾光片通道間的空白區域相對應;

黑鉻金屬膜層,所述黑鉻金屬膜層設置在所述噴砂處理面上,以阻止光線通過;

還包括消光層,所述消光層由第一氧化鉻膜層、第一二氧化硅膜層、第二氧化鉻膜層、第二二氧化硅膜層組成,所述第一氧化鉻膜層設置在所述黑鉻金屬膜層上,所述第一二氧化硅膜層設置在所述第一氧化鉻膜層上,所述第二氧化鉻膜層設置在所述第一二氧化硅膜層上,所述第二二氧化硅膜層設置在所述第二氧化鉻膜層上。

2.根據權利要求1所述的一種多通道集成濾光片的漫反射光隔離結構,其特征在于,所述黑鉻金屬膜層的厚度為200-500納米,所述第一氧化鉻膜層的厚度為45-50納米,所述第一二氧化硅膜層的厚度為200-220納米,所述第二氧化鉻膜層的厚度為120-140納米,所述第二二氧化硅膜層的厚度為85-95納米。

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