[實用新型]一種集成化濕度傳感器有效
| 申請號： | 201820147064.8 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN207866749U | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發明（設計）人： | 趙曉鋒;藍德高;柳微微;溫殿忠 | 申請（專利權）人： | 黑龍江大學 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京康思博達知識產權代理事務所(普通合伙) 11426 | 代理人： | 劉冬梅;路永斌 |
| 地址： | 150080 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二氧化硅層 濕度傳感器 集成化 上表面 叉指電極 硅杯 本實用新型 工藝制備 濕度檢測 磁線圈 感濕層 靈敏度 熱電阻 下表面 線性度 襯底 濕層 生長 響應 | ||
【權利要求書】：
1.一種集成化濕度傳感器，其特征在于，所述濕度傳感器以C型硅杯(1)為襯底，在所述C型硅杯(1)的上表面生長有二氧化硅層(2)，其中，
在所述二氧化硅層(2)的上表面設置有叉指電極(3)，
在所述叉指電極(3)上設置有感濕層(4)，和，
在所述二氧化硅層(2)的上表面、感濕層(4)周圍設置有加磁線圈(5)。
2.根據權利要求1所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，所述叉指電極(3)為Pt/Ti叉指電極。
3.根據權利要求1所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，所述感濕層(4)為具有多孔結構的硅基陽極氧化鋁層。
4.根據權利要求3所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，所述硅基陽極氧化鋁層的厚度為2000～8000nm。
5.根據權利要求1所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，所述加磁線圈(5)為銅線圈。
6.根據權利要求1至5之一所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，在所述C型硅杯(1)的底部中心處沉積有磁性材料(6)，形成所述加磁線圈(5)的磁芯。
7.根據權利要求6所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，在所述C型硅杯(1)與二氧化硅層(2)之間設置有加熱電阻(7)。
8.根據權利要求7所述的集成化濕度傳感器，其特征在于，所述加熱電阻(7)為條狀結構。
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