[實用新型]一種光刻膠輔助裝置有效
| 申請號： | 201820137880.0 | 申請日： | 2018-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN207731084U | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發明（設計）人： | 潘堯 | 申請（專利權）人： | 蘇州銳材半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331 | 代理人： | 陸曉鷹 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻膠 電子束曝光裝置 磁控濺射裝置 本實用新型 輔助裝置 噴液裝置 涂膠裝置 轉動裝置 上端 襯底 電子束光刻膠 導電性 電子束曝光 金屬腐蝕液 可拆式安裝 曝光 磁控濺射 多向移動 金屬薄膜 圖形轉移 真空吸盤 裝置連接 常規的 腐蝕液 顯影 旋涂 腐蝕 金屬 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻膠輔助裝置，包括一電子束曝光裝置，以及一底部設有真空吸盤的平臺，所述電子束曝光裝置可拆式安裝于平臺上端左側，其特征在于，所述平臺上端通過一多向移動裝置連接有一轉動裝置，所述轉動裝置上設有涂膠裝置、磁控濺射裝置以及一噴液裝置。
2.如權利要求1所述的一種光刻膠輔助裝置，其特征在于，所述多向移動裝置包括一手搖式升降桿，以及一滑動桿，所述滑動桿橫向連接于手搖式升降桿上端左側，所述滑動桿上滑動連接有滑動塊；所述轉動裝置包括一轉送盤，該轉送盤后端和滑動塊前端形成扣接；所述涂膠裝置包括一自動涂膠器，所述磁控濺射裝置包括一微型磁控濺射器，所述噴液裝置包括一電動噴液器，所述自動涂膠器、微型磁控濺射器以及電動噴液器均轉動連接于轉送盤的前端，并且三者之間均相隔120°角度。
3.如權利要求1所述的一種光刻膠輔助裝置，其特征在于，所述平臺上端豎向連接有一螺紋桿，所述螺紋桿上端螺紋連接有一螺紋套桿，所述螺紋套桿上端焊接有一平面基座。
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