[實用新型]一種金屬剝離裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820137871.1 | 申請日: | 2018-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN207731085U | 公開(公告)日: | 2018-08-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 潘堯 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州銳材半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/42 | 分類號: | G03F7/42 |
| 代理公司: | 蘇州國卓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331 | 代理人: | 陸曉鷹 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 伺服 伺服控制 本實用新型 可拆式連接 金屬剝離 伸縮裝置 滑動塊 滑槽 顯影 形貌 從上到下 工藝條件 橫向連接 烘烤裝置 滑動連接 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 噴膠裝置 曝光裝置 伺服液壓 倒梯形 金屬襯 致密性 上端 烘烤 側(cè)蝕 噴膠 豎向 左端 剝離 曝光 | ||
本實用新型公開了一種金屬剝離裝置,包括一機(jī)架,機(jī)架上端豎向設(shè)有第一、第二基座,第二基座左端設(shè)有滑槽,滑槽上滑動連接有基于伺服控制的伺服滑動塊,伺服滑動塊前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服伸縮裝置,伺服伸縮裝置前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服液壓鉗;同時,第一基座右側(cè)從上到下分別橫向連接有噴膠裝置、烘烤裝置以及曝光裝置;本實用新型對金屬襯底進(jìn)行噴膠、烘烤、曝光后再進(jìn)行顯影,因為膠在不同工藝條件下的不同致密性,側(cè)蝕速率也不相同,得到了倒梯形的形貌,達(dá)到了有利剝離的效果,且價格較低,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,顯影要求也較低。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種剝離裝置,尤其涉及一種金屬剝離裝置,屬于金屬圖形化工藝加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
在做金屬圖形化工藝加工時,金屬剝離是最為重要的手段之一,我們通過噴膠與旋涂改變膠的致密性,形成有利于剝離的倒梯形,使得剝離時間大大減少。目前采用玻璃膠可以協(xié)助金屬的剝離。但是玻璃膠協(xié)助金屬剝離的工藝價格高,容易產(chǎn)生結(jié)構(gòu)坍塌,顯影要求高;為了改變以上現(xiàn)象,我們發(fā)明了噴膠與涂膠結(jié)合的方法,采用同一款膠不同的工藝結(jié)合,達(dá)到了幫助剝離的效果。但是目前沒有針對上述工藝的專用設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型就是針對上述問題,提出一種金屬剝離裝置,該金屬剝離裝置可對金屬進(jìn)行有效剝離,且價格較低,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,顯影要求也較低。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供的一種金屬剝離裝置,包括一機(jī)架,所述機(jī)架上端豎向設(shè)有第一基座和第二基座,所述第一基座和第二基座之間相隔一定距離;所述第二基座左端設(shè)有滑槽,所述滑槽上滑動連接有基于伺服控制的伺服滑動塊,所述伺服滑動塊前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服伸縮裝置,所述伺服伸縮裝置前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服液壓鉗;同時,所述第一基座右側(cè)從上到下分別橫向連接有噴膠裝置、烘烤裝置以及曝光裝置。
作為本實用新型之優(yōu)選,所述噴膠裝置包括一基于伺服的伺服噴膠器,該伺服噴膠器橫向連接于第一基座右側(cè);所述烘烤裝置包括一基于伺服控制的烘烤箱,該烘烤箱橫向連接于第一基座右側(cè),并位于伺服噴膠器底部;所述曝光裝置包括一曝光箱,該曝光箱前端設(shè)有基于伺服控制的自動門,所述曝光箱橫向連接于第一基座右側(cè),并位于烘烤箱的底部。
優(yōu)選的,所述第一基座和第二基座之間的距離為:可使伺服液壓鉗完全伸入烘烤箱及曝光箱內(nèi)。
進(jìn)一步的,所述機(jī)架上端還設(shè)有一儲物箱,該儲物箱位于第一基座和第二基座之間。
本實用新型對金屬襯底進(jìn)行噴膠、烘烤、曝光后再進(jìn)行顯影,因為膠在不同工藝條件下的不同致密性,側(cè)蝕速率也不相同,得到了倒梯形的形貌,達(dá)到了有利剝離的效果,且價格較低,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,顯影要求也較低。
附圖說明
圖1所示的是本實用新型的外觀結(jié)構(gòu)圖。
其中:1、機(jī)架;2、第一基座;3、第二基座;4、滑槽;5、伺服滑動塊;6、伺服伸縮裝置;7、伺服液壓鉗;8、伺服噴膠器;9、烘烤箱;10、曝光箱;11、自動門;12、儲物箱。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)地說明。
由圖1可知,一種金屬剝離裝置,包括一機(jī)架1,該機(jī)架1上端豎向設(shè)有第一基2座和第二基座3,第一基座2和第二基座3之間相隔一定距離;在第二基座3左端設(shè)有滑槽4,滑槽4上滑動連接有基于伺服控制的伺服滑動塊5,該伺服滑動塊5前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服伸縮裝置6,該伺服伸縮裝置6前端可拆式連接有基于伺服控制的伺服液壓鉗7;同時,在第一基座2右側(cè)從上到下分別橫向連接有噴膠裝置、烘烤裝置以及曝光裝置。
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