[實用新型]一種光刻多次曝光裝置有效

申請號：	201820136478.0	申請日：	2018-01-26
公開（公告）號：	CN207780483U	公開（公告）日：	2018-08-28
發明（設計）人：	潘堯	申請（專利權）人：	蘇州銳材半導體有限公司
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20
代理公司：	蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331	代理人：	陸曉鷹
地址：	215000 江蘇省蘇州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	曝光裝置橫向導軌刻蝕裝置多次曝光裝置本實用新型機械手涂膠裝置上端滑動塊光刻黃光涂膠發光裝置加工效率自動裝夾裝夾生產成本照射曝光發射加工
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【權利要求書】：

1.一種光刻多次曝光裝置，包括一平臺，一涂膠裝置以及一刻蝕裝置，所述平臺底部設有真空吸盤，所述平臺上端的中間設有曝光裝置，所述平臺左端和右端分別設有呈豎向的第一連接塊和第二連接塊，所述第一連接塊右側和曝光裝置左側之間設有第一橫向導軌，所述第二連接塊左側和曝光裝置右側之間設有第二橫向導軌，所述第一橫向導軌和第二橫向導軌之間分別滑動連接有基于伺服控制的第一電動滑動塊和第二電動滑動塊，所述第一電動滑動塊和第二電動滑動塊的上端分別設有第一裝夾臺和第二裝夾臺，其特征在于，所述第一連接塊的右側以及第二連接塊的左側，分別設有基于伺服控制的第一機械手和第二機械手，所述第一機械手的活動端安裝有涂膠裝置，所述第二機械手的活動端安裝有刻蝕裝置；同時，所述第一連接塊和第二連接塊之間設有一可向下發射黃光的發光裝置。

2.如權利要求1所述的光刻多次曝光裝置，其特征在于，所述發光裝置包括一LED平板燈，以及一光亮度調節裝置，所述光亮度調節裝置安裝于第二連接塊的外側，并且所述光亮度調節裝置和LED平板燈的驅動形成電性連接。

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