[實用新型]一種簡易式微流道制作裝置

有效

• 申請號: 201820136477.6
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN207913805U
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 潘堯
• 申請（專利權）人: 蘇州銳材半導體有限公司
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 蘇州國卓知識產權代理有限公司 32331
• 代理人: 陸曉鷹

本實用新型公開了一種簡易式微流道制作裝置，包括刻蝕裝置及光刻裝置，以及平臺，刻蝕裝置和光刻裝置分別安裝于第一、第二伺服機械手的上端，所述平臺上端豎向設有第一、第二連接基座，第一連接基座內側設有第一滑槽，第二連接基座內側設有第二滑槽，第一、第二滑槽之間滑動連接有一橫向基座，橫向基座底部設有一壓板；第一、第二連接基座外側及上端設有C型架，該C型架底部設有一基于伺服控制的液壓式伸縮裝置，平臺上端設有一基于伺服控制的縱向移動裝置；本實用新型采用刻蝕和光刻設備以及壓制設備將硅片進行刻蝕、光刻以及壓制分離的方式，即可得到復雜的微流道模板，該微流道制作裝置加工成本明顯低于硅基刻蝕方法，且制作簡單，精度高。

技術領域

本實用新型涉及一流道制作裝置，尤其涉及一種簡易式微流道制作裝置，屬于微流控設備技術領域。

背景技術

在微流控技術日趨發展的過程中，復雜微流道一直是科研與生產的焦點，在目前復雜流道的生產中，一直是通過硅的刻蝕來做模板，再經翻膜產生所需流道，但是高成本的加工方法一直阻礙著微流控的研究與生產，同時還缺乏相應的專業的加工設備。這都是阻礙復雜微流道加工的瓶頸。

發明內容

本發明所需解決的技術問題是：提供一種簡易式微流道制作裝置，該微流道制作裝置加工成本明顯低于硅基刻蝕方法，且制作簡單，精度高。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種簡易式微流道制作裝置，包括一刻蝕裝置，一光刻裝置，以及一平臺，所述平臺兩側設有和地基連接的螺栓孔，所述刻蝕裝置和光刻裝置分別安裝于基于伺服控制的第一伺服機械手、第二伺服機械手的上端，所述第一伺服機械手、第二伺服機械手底部安裝于平臺上端兩側，所述平臺上端豎向設有第一連接基座和第二連接基座，所述第一連接基座內側設有第一滑槽，所述第二連接基座內側設有第二滑槽，所述第一滑槽、第二滑槽之間滑動連接有一橫向基座，所述橫向基座底部設有一壓板；所述第一連接基座、第二連接基座外側及上端設有一C型架，該C型架底部設有一基于伺服控制的液壓式伸縮裝置，所述液壓式伸縮裝置底部和橫向基座的上端相連接；同時，所述平臺上端還設有一基于伺服控制的縱向移動裝置。

作為本實用新型之優選，所述縱向移動裝置包括第一導軌、第二導軌，所述第一導軌、第二導軌固接于平臺上端，并且所述第一導軌、第二導軌位于第一連接基座和第二連接基座之間；所述第一導軌和第二導軌上滑動連接有一可沿著第一導軌、第二導軌縱向滑動的基于伺服控制的電動滑動裝置，所述電動滑動裝置上端設有一平面基座，該平面基座上端對應壓板。

本實用新型采用刻蝕和光刻設備以及壓制設備將硅片進行刻蝕、光刻以及壓制分離的方式，即可得到復雜的微流道模板，該微流道制作裝置加工成本明顯低于硅基刻蝕方法，且制作簡單，精度高。

附圖說明

圖1所述的是本實用新型的外觀結構圖；

其中，1、刻蝕裝置；2、光刻裝置；3、平臺；4、螺栓孔；5、第一伺服機械手；6、第二伺服機械手；7、第一連接基座；8、第二連接基座；9、第一滑槽；10、第二滑槽；11、橫向基座；12、壓板；13、C型架；14、液壓式伸縮裝置；15、第一導軌；16、第二導軌；17、電動滑動裝置；18、平面基座。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細地說明。

由圖1可知，一種簡易式微流道制作裝置，包括一刻蝕裝置1，一光刻裝置2，以及一平臺3。