[實用新型]浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820135879.4
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN208001395U
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷冰瑩;李靜;湯潔;王靜;王屹山;張同意;趙衛(wèi);段憶翔
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 胡樂

1.浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：包括由絕緣材料制成的圓筒形的主體腔室，主體腔室的一端作為進氣端口，另一端作為出氣端口，出氣端口的直徑不大于10mm；主體腔室的外壁依次緊密套接有均為圓筒形的浮動電極、接地電極，其中接地電極靠近出氣端口；在主體腔室的軸心處固定設(shè)置有柱形的高壓電極，高壓電極與主體腔室內(nèi)壁的間距為0.5-4.5mm，高壓電極從進氣端口伸入主體腔室內(nèi)且末端與浮動電極所在軸向位置相對應(yīng)，高壓電極、浮動電極與接地電極的軸向距離為10-20mm，通過在高壓電極和接地電極兩端加載交流電源、浮動電極保持開路狀態(tài)，使得：高壓電極、浮動電極以及兩者之間充當絕緣介質(zhì)層的腔壁形成介質(zhì)阻擋放電的預(yù)放電單元，高壓電極、接地電極以及兩者之間充當絕緣介質(zhì)層的腔壁形成介質(zhì)阻擋放電構(gòu)成主放電單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：高壓電極、浮動電極與接地電極的軸向距離相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述交流電源的頻率從工頻至13.56MHz的射頻范圍內(nèi)可調(diào)，電源模式為連續(xù)或脈沖形式；電壓幅值為1000-9000伏。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：主放電功率不大于10W，工作氣體流速為0.01-10L/min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述主體腔室由玻璃、石英或陶瓷材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述高壓電極、接地電極、浮動電極均為銅、鋁、鎢、鎳、鉭或鉑制成的電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述高壓電極為圓柱形，直徑0.5-5mm，高壓電極的放電頂端為圓弧形。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述接地電極和浮動電極均為薄片圓筒結(jié)構(gòu)，厚度不大于1mm，軸向長度為5-15mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述接地電極距離出氣端口3-8mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動電極增強介質(zhì)阻擋放電彌散等離子體射流發(fā)生裝置，其特征在于：所述高壓電極通過設(shè)置于主體腔室內(nèi)的環(huán)形塞實現(xiàn)與主體腔室的相對固定，高壓電極從環(huán)形塞中心貫通，環(huán)形塞上對稱設(shè)置有若干通氣孔作為氣流通道。