[實用新型]閥件分流箱

有效

• 申請號: 201820134944.1
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN207741797U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 尚華;張慧;蔡可輝
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實用新型公開了一種閥件分流箱，包括：開關模塊包括N個電磁閥，N為大于或等于1的整數；氣路組件模塊包括N個氣路組件，每個氣路組件的出口對應連接一個電磁閥；監控模塊包括M個檢測器件，M為大于或等于1的整數，用于檢測氣體通路內的環境參數；監控模塊還包括控制單元，控制單元分別檢測器件和開關模塊電連接，用于根據氣體通路內的環境參數切斷開關模塊的電源信號。本實用新型實施例提供了一種閥件分流箱，通過在每個氣路組件的出口對應連接一個電磁閥，然后監控模塊的控制單元根據檢測器件檢測的氣體通路內的環境參數，來實現對電磁閥的導通或者關斷，來控制氣路組件組成的氣體通路處于導通的狀態或者截止的狀態。

技術領域

本實用新型實施例涉及電力轉換技術領域，尤其涉及一種閥件分流箱。

背景技術

在現代工業及高新科技的發展中，對于安全的要求是越來越嚴格，在盡可能的減少安全事故的發生，以取得高效、穩定、不斷提高的產業利潤。由于在制程上的需要，在半導體工廠及芯片生產過程中使用了許多特殊的氣體如：SiH₄、NH₃以及N₂等，因此，就需要相應的供氣設備。閥件分流箱(Valve Manifold Box，VMB)主要用于將氣體經過氣路組件模塊中的氣路組件送到相應的設備中。

但是目前的閥件分流箱，自動化程度不高，人力成本較高。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種閥件分流箱，實現了在閥件分流箱的監控模塊監測到現場一些危險情況時，對開關模塊及時斷電，阻止氣體在氣體通路中的傳輸，并且該閥件分流箱具有結構簡單、成本低廉以及可靠性高的特點。

本實用新型實施例提供了一種閥件分流箱，包括：開關模塊，所述開關模塊包括N個電磁閥，所述N為大于或等于1的整數；

氣路組件模塊，所述氣路組件模塊包括N個氣路組件，每個所述氣路組件的出口對應連接一個電磁閥，所述電磁閥用于導通或者截止所述氣路組件組成的氣體通路；

電源模塊，所述電源模塊的第一電源信號輸出端與所述開關模塊的第一電源信號輸入端電連接，所述電源模塊的第二電源信號輸出端與所述開關模塊的第二電源信號輸入端電連接，所述電磁閥的第一電源信號輸入端與所述開關模塊的第一電源信號輸入端電連接，所述電磁閥的第二電源信號輸入端與所述開關模塊的第二電源信號輸入端電連接；

監控模塊，所述監控模塊的第一電源信號輸入端與所述電源模塊的第一電源信號輸出端電連接，所述監控模塊的第二電源信號輸入端與所述電源模塊的第二電源信號輸出端電連接；

所述監控模塊包括M個檢測器件，所述M為大于或等于1的整數，用于檢測所述氣體通路內的環境參數；

所述監控模塊還包括控制單元，所述控制單元分別與所述檢測器件和所述開關模塊電連接，用于根據所述氣體通路內的環境參數切斷所述開關模塊的電源信號。

可選的，所述控制單元包括M個第一熱繼電器；

所述第一熱繼電器與所述檢測器件一一對應設置，所述第一熱繼電器包括第一線圈和至少一個常開觸點；

所述檢測器件的第一端與所述第一線圈的第一端電連接，所述檢測器件的第二端與所述監控模塊的第一電源信號輸入端電連接，所述第一線圈的第二端與所述監控模塊的第二電源信號輸入端電連接，所述檢測器件檢測指示燈與所述第一線圈并聯連接，所述第一熱繼電器的第一常開觸點與所述檢測器件并聯連接；

所述控制單元還包括N個遠程開關，每個所述遠程開關對應設置一個第二熱繼電器，所述第二熱繼電器包括第二線圈、至少一個常開觸點和至少一個常閉觸點；所述遠程開關的第一端與所述第二線圈的第一端電連接，所述遠程開關的第二端與所述監控模塊的第一電源信號輸入端電連接，所述第二線圈的第二端與所述監控模塊的第二電源信號輸入端電連接；所述第二熱繼電器的第一常開觸點與所述遠程開關并聯連接；