[實用新型]一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器有效
| 申請號： | 201820120843.9 | 申請日： | 2018-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN207763812U | 公開（公告）日： | 2018-08-24 |
| 發明（設計）人： | 胡章武;張凡明;劉斌;劉慶;方中杰;崔翠;朱建明;胡浩 | 申請（專利權）人： | 安徽民生信息股份有限公司 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韓燕;金凱 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳輸光纖 接收光纖 傳感探頭 敏感膜片 毛細管 聲壓 本實用新型 光電探測器 聲壓傳感器 定位基材 光源 光纖 并排平行 固定夾角 傳統的 靈敏度 雙光纖 伸入 | ||
1.一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：包括有光源、聲傳感探頭和光電探測器，所述的聲傳感探頭包括有傳輸光纖、接收光纖、毛細管、以及固定于毛細管內的MEMS聲壓敏感膜片和定位基材；所述的傳輸光纖的一端與光源連接，所述的接收光纖的一端與光電探測器連接，所述的傳輸光纖的另一端、接收光纖的另一端均伸入到毛細管內且朝向MEMS聲壓敏感膜片，所述的定位基材與MEMS聲壓敏感膜片之間留有距離，傳輸光纖和接收光纖固定于定位基材上使得傳輸光纖和接收光纖之間形成背向MEMS聲壓敏感膜片的夾角2α，夾角2α范圍20°—60°。
2.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器還包括有與光電探測器連接的信號處理系統。
3.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的毛細管選用石英毛細管，所述的定位基材選用玻璃基材，玻璃基材和石英毛細管通過膠黏固定。
4.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的定位基材上設置有兩個穿孔，兩個穿孔的軸向延伸線形成背向MEMS聲壓敏感膜片的夾角，所述的傳輸光纖、接收光纖分別穿過對應的穿孔且與對應的穿孔內壁粘接固定。
5.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的傳輸光纖選用單模光纖，所述的接收光纖選用多模光纖。
6.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的MEMS聲壓敏感膜片選用MEMS氮化硅或多晶硅振動膜。
7.根據權利要求1所述的一種緊湊型光纖MEMS聲壓傳感器，其特征在于：所述的光源選用LED光源或激光器。
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