[實用新型]一種判斷光柵尺參考點絕對位置的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820120827.X | 申請日： | 2018-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN207717036U | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李星輝;周倩;肖翔;倪凱;王歡歡;冒新宇;曾理江;蘇曉;王曉浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué)深圳研究生院 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223 | 代理人： | 方艷平 |
| 地址： | 518055 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 參考點 矩形塊 等間距排列 絕對位置 編碼區(qū) 光柵尺 本實用新型 寬度相等 編碼帶 掩膜 信號處理計算機 寬度方向間隔 光電探測器 反射光線 檢測誤差 增量位移 分束鏡 光源 吸收 | ||
1.一種判斷光柵尺參考點絕對位置的裝置，其特征在于，包括光源、分束鏡、參考點掩膜、參考點編碼帶、光電探測器和信號處理計算機，其中：
所述光源發(fā)出的光束入射到所述分束鏡并經(jīng)過所述分束鏡反射后，穿過所述參考點掩膜的透光區(qū)域照射到所述參考點編碼帶后，被所述參考點編碼帶的反射區(qū)域反射后再穿過所述參考點掩膜的透光區(qū)域并透過所述分束鏡照射到所述光電探測器上，所述光電探測器將采集到的信號發(fā)送給所述信號處理計算機；
所述參考點掩膜包括多個寬度相等的第一矩形塊，多個所述第一矩形塊沿其自身的寬度方向等間距排列；所述參考點編碼帶包括多組參考點組，每組所述參考點組包括兩個參考點編碼區(qū)，每個所述參考點編碼區(qū)包括多個寬度相等的第二矩形塊，多個所述第二矩形塊沿其自身的寬度方向等間距排列，兩個所述參考點編碼區(qū)沿著所述第二矩形塊的寬度方向間隔排列，多組所述參考點組沿著所述第二矩形塊的寬度方向等間距排列，且所述第一矩形塊和所述第二矩形塊均能夠吸收或反射光線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光源采用激光二極管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分束鏡為透射率為50％的半透半反射鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述參考點掩膜與所述參考點編碼帶平行設(shè)置，二者之間的間距為1～2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述參考點掩膜和所述參考點編碼區(qū)的編碼方式相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一矩形塊和所述第二矩形塊的寬度相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，兩個所述參考點編碼區(qū)之間的間距小于相鄰兩組所述參考點組之間的間距。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，兩個所述參考點編碼區(qū)之間的間距小于所述參考點編碼區(qū)沿著所述第二矩形塊寬度方向的總長度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光電探測器采用光電二極管。
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