[實(shí)用新型]一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820115969.7
• 申請(qǐng)日: 2018-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207719163U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃志軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河源創(chuàng)基電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 東莞市永橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44400
• 代理人: 何新華

1.一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，包括底板(10)，所述底板(10)上固定有料道(11)、第一支架(12)和芯片定位機(jī)構(gòu)(13)，所述第一支架(12)上固定有芯片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(30)，其特征在于：

所述料道(11)的一側(cè)設(shè)有送料機(jī)構(gòu)(20)，所述送料機(jī)構(gòu)(20)包括第二支架(21)，所述第二支架(21)上固定有定位氣缸(22)，所述定位氣缸(22)的輸出端固定有傳動(dòng)塊(23)，所述傳動(dòng)塊(23)上固定有升降氣缸(24)，所述升降氣缸(24)的輸出端固定有定位座(25)，所述定位座(25)上固定連接有定位針(26)，所述第二支架(21)的兩內(nèi)側(cè)均固定有限位塊(27)，兩個(gè)所述限位塊(27)分別位于所述傳動(dòng)塊(23)運(yùn)動(dòng)軌跡的兩端；

所述第一支架(12)還固定有第一攝像頭(41)和第二攝像頭(42)，所述芯片定位機(jī)構(gòu)(13)的輸出端固定有芯片盤固定架(50)，所述芯片盤固定架(50)的一側(cè)固定有等離子風(fēng)機(jī)(51)，所述第一攝像頭(41)位于所述料道(11)的上方，所述第二攝像頭(42)位于所述芯片盤固定架(50)的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述芯片定位機(jī)構(gòu)(13)包括第一定位絲桿結(jié)構(gòu)(131)和第二定位絲桿結(jié)構(gòu)(132)，所述第一定位絲桿結(jié)構(gòu)(131)的輸出端與所述第二定位絲桿結(jié)構(gòu)(132)固定連接，所述第二定位絲桿結(jié)構(gòu)(132)的輸出端為所述芯片定位機(jī)構(gòu)(13)的輸出端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二支架(21)中固定有導(dǎo)桿(28)，所述導(dǎo)桿(28)與所述傳動(dòng)塊(23)滑動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述芯片轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(30)包括第三定位絲桿結(jié)構(gòu)(31)，第三定位絲桿結(jié)構(gòu)(31)的輸出端固定有升降驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(32)，所述升降驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(32)的輸出端固定有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33)的輸出端固定有固晶擺臂(34)，所述固晶擺臂(34)固定有真空吸頭(35)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33)和所述真空吸頭(35)分別位于所述固晶擺臂(34)的兩端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)的防靜電固晶結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述等離子風(fēng)機(jī)(51)位于所述芯片盤固定架(50)遠(yuǎn)離所述第一支架(12)的一側(cè)。