[實用新型]一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置有效
| 申請號: | 201820113165.3 | 申請日: | 2018-01-24 |
| 公開(公告)號: | CN207705168U | 公開(公告)日: | 2018-08-07 |
| 發明(設計)人: | 黃燕輝 | 申請(專利權)人: | 廣州科沃數控機床維修有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李靜 |
| 地址: | 510000 廣東省廣州市天*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 處理箱 硅片 酸洗 干燥腔 滑塊 網框 太陽能電池生產 酸洗處理裝置 本實用新型 干燥裝置 伸縮柱 支撐架 滑軌 下端 把手 地腳 連通設置 酸洗效果 移動滑塊 出水管 攪拌器 內腔 腔內 磨損 焊接 轉換 | ||
1.一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置,包括處理箱(6);其特征在于,所述處理箱(6)的內腔中部設置有隔板(13);所述處理箱(6)的內腔分為酸洗腔(5)和干燥腔(14);所述處理箱(6)的上面設置有滑軌(12),滑軌(12)上設置有滑塊(10),滑塊(10)的上面設置有把手(11),滑塊(10)的下端設置有液壓伸縮柱(9),液壓伸縮柱(9)的下端設置有放置網框(7);所述處理箱(6)的左側上方連通設置有進水管(8),處理箱(6)的左側下方連通設置有第一出水管(3);所述酸洗腔(5)內底部設置有攪拌器(4);所述干燥腔(14)內底部設置有干燥裝置(16);所述干燥裝置(16)包括出風板(20)、鼓氣管(21)、鼓風機(22)、加熱器(23)和過濾器(24);所述鼓風機(22)的右端通過鼓氣管(21)和加熱器(23)相連接,加熱器(23)的右端通過鼓氣管(21)和過濾器(24)相連接,鼓風機(22)的左端通過鼓氣管(21)和出風板(20)相連接;所述處理箱(6)的右側下方連通設置有第二出水管(15);所述處理箱(6)的兩側焊接有支撐架(2),支撐架(2)的底部設置有地腳(1)。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置,其特征在于,所述第一出水管(3)、進水管(8)和第二出水管(15)上均設置有水閥。
3.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置,其特征在于,所述液壓伸縮柱(9)上設置有螺紋,液壓伸縮柱(9)上設置有蓋板(17),蓋板(17)和液壓伸縮柱(9)之間連接有旋轉螺套。
4.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置,其特征在于,所述隔板(13)內部設置有升降板(18),升降板(18)底部設置有液壓缸(19)。
5.根據權利要求1所述的一種太陽能電池生產用硅片酸洗處理裝置,其特征在于,所述出風板(20)設置在干燥腔(14)內底部,出風板(20)上均勻設置有出氣孔。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





