[實用新型]一種高精密XYθ對位硬件平臺

有效

• 申請號: 201820110015.7
• 申請日: 2018-01-23
• 公開（公告）號: CN207874158U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 劉文鋒
• 申請（專利權）人: 謄展精密科技（深圳）有限公司
• 主分類號: B25H1/02
• 分類號: B25H1/02;B25H1/14
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型公開了一種高精密XYθ對位硬件平臺，包括工作臺、基座、滾珠絲杠副、XYθ單體和馬達，所述滾珠絲杠副包括滾珠絲杠和螺母座，所述滾珠絲杠與馬達連接，馬達固定于基座上，馬達、XYθ單體和滾珠絲杠副共有四組，所述XYθ單體固定安裝于螺母座正上方，工作臺與XYθ單體連接。馬達驅動滾珠絲杠轉動，使工作臺對位，XYθ單體位于螺母座正上方，無中間連接件，絲杠副傳動精度不受影響，且絲桿副在XYθ單體正下方施力，絲桿副施力點在運動體平面幾何中心，因而受力均勻，不會產生不必要的轉矩。

技術領域

本實用新型涉及高精密貼合、對位相關技術領域，具體是一種高精密XYθ對位硬件平臺。

背景技術

在各種液晶面板制造、檢查設備、半導體制造、檢查設置、網印設備或印刷電路板制造、檢查設備中，必須使用對位平臺進行對位移動等程序，而為了提高精密度，除X軸、Y軸的移動外，除以伸縮元件達成XY軸的移動外，更應具備θ角移動功能，方能達成高精密度的要求。

現有的XYθ平臺結構特點為：絲桿副與單體ＸＹθ水平依次排列，絲桿與Ｘ方向軌道連接，側邊推動結構件，其缺點在于：絲桿副施力點與運動體之間距離長，為連桿結構，會產生不必要的轉矩，絲桿副精度傳動會受中間連接件的影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種高精密XYθ對位硬件平臺，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種高精密XYθ對位硬件平臺，包括工作臺、基座、滾珠絲杠副、XYθ單體和馬達，所述滾珠絲杠副包括滾珠絲杠和螺母座，所述滾珠絲杠與馬達連接，馬達固定于基座上，馬達、XYθ 單體和滾珠絲杠副共有四組，所述XYθ單體固定安裝于螺母座正上方，工作臺與XYθ單體連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：馬達驅動滾珠絲杠轉動，使工作臺對位，XYθ單體位于螺母座正上方，無中間連接件，絲杠副傳動精度不受影響，且絲桿副在XYθ單體正下方施力，絲桿副施力點在運動體平面幾何中心，因而受力均勻，不會產生不必要的轉矩。

附圖說明

圖1為一種高精密XYθ對位硬件平臺的結構示意圖。

圖2為一種高精密XYθ對位硬件平臺的主視結構示意圖。

圖3為一種高精密XYθ對位硬件平臺的左視結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1～3，本實用新型實施例中，一種高精密XYθ對位硬件平臺，包括工作臺1、基座6、滾珠絲杠副、XYθ單體3和馬達2，所述滾珠絲杠副包括滾珠絲杠5和螺母座4，所述滾珠絲杠5與馬達2連接，馬達2固定于基座6上，馬達2、XYθ 單體3和滾珠絲杠副共有四組，所述XYθ單體3固定安裝于螺母座4正上方，工作臺1與XYθ單體3連接，馬達2驅動滾珠絲杠5轉動，使工作臺1對位，XYθ單體3位于螺母座4正上方，無中間連接件，絲杠副傳動精度不受影響，且絲桿副在XYθ單體3正下方施力，絲桿副施力點在運動體平面幾何中心，因而受力均勻，不會產生不必要的轉矩。

對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。

此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。