[實用新型]一種擴散爐專用自動進出料裝置

有效

• 申請號: 201820102320.1
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN207810650U
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 趙鵬;趙子程
• 申請（專利權）人: 青島華鈺微電子科技有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種擴散爐專用自動進出料裝置，包括支撐板、滑塊、絲桿、同步輪一、伺服電機、同步輪二、同步帶、T型支撐塊、懸掛桿、彈性氣囊、充氣泵以及固定板，所述支撐板內端安裝有絲桿，所述絲桿上裝配有滑塊，所述絲桿右端裝配有同步輪一，所述同步輪一通過同步帶與同步輪二相連接，所述同步輪二右端裝配有伺服電機，該設計實現了自動進出料控制，所述固定板前端裝配有懸掛桿，所述懸掛桿后端鑲嵌有充氣泵，所述懸掛桿內部底端安裝有彈性氣囊，所述彈性氣囊上端裝配有T型支撐塊，該設計提高了懸掛效果，本實用新型使用方便，便于操作，提高了自動進出料的效果，提高了懸掛穩定性。

技術領域

本實用新型是一種擴散爐專用自動進出料裝置，屬于擴散爐技術領域。

背景技術

現有技術中，現有的擴散爐專用自動進出料裝置主要是由T型絲杠作為主傳動，電機通過聯軸器直接連接，由兩端的光電開關作為定點限位來控制其總行程，系統由簡易的集成控制箱控制，控制精度低，現有的擴散爐專用自動進出料裝置在對硅片進行懸掛攜帶時，由于沒有支撐裝置，導致硅片在懸掛桿上容易滑動，進而造成脫落，從而降低了其加工效果。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種擴散爐專用自動進出料裝置，以解決上述背景技術中提出的問題，本實用新型使用方便，便于操作，提高了自動進出料的效果，提高了懸掛穩定性。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種擴散爐專用自動進出料裝置，包括支撐板、微動開關、懸掛機構、滑塊、絲桿、同步輪一、伺服電機、同步輪二以及同步帶，所述支撐板內端安裝有絲桿，所述絲桿上裝配有滑塊，所述滑塊前端面固定有懸掛機構，所述絲桿右端裝配有同步輪一，所述同步輪一左側設置有支撐板，所述絲桿穿過支撐板與同步輪一相連接，所述同步輪一上側安裝有同步輪二，所述同步輪一通過同步帶與同步輪二相連接，所述同步輪二右端裝配有伺服電機，所述微動開關設置在支撐板右端，所述微動開關右側安裝有滑塊，所述微動開關裝配在絲桿前側，所述懸掛機構包括T型支撐塊、懸掛桿、彈性氣囊、充氣泵以及固定板，所述滑塊前端固定有固定板，所述固定板前端裝配有懸掛桿，所述懸掛桿后端鑲嵌有充氣泵，所述充氣泵設置在固定板前端，所述懸掛桿內部底端安裝有彈性氣囊，所述彈性氣囊上端裝配有T型支撐塊，所述T型支撐塊安裝在懸掛桿上，所述T型支撐塊后側設置有固定板。

進一步地，所述支撐板設有兩個，所述支撐板對稱裝配在絲桿左右兩端，所述T型支撐塊設有至少兩個，至少兩個所述T型支撐塊等距裝配在彈性氣囊上端。

進一步地，所述絲桿通過滾珠螺母副與滑塊相連接，所述絲桿通過軸承與支撐板相連接，所述絲桿通過緊固螺栓與同步輪一相連接，所述同步輪二通過緊固螺栓與伺服電機相連接。

進一步地，所述充氣泵、微動開關以及伺服電機均通過電線與外接蓄電池相連接，所述伺服電機通過電線與微動開關相連接。

進一步地，所述懸掛桿上端加工有開口槽，且開口槽上設置有T型支撐塊，所述懸掛桿后端通過法蘭盤與固定板相連接，所述懸掛桿后端加工有凹槽，且凹槽上固定有充氣泵。

進一步地，所述充氣泵通過氣管與彈性氣囊相連接，所述固定板后端加工有通孔，且通孔設置在充氣泵后端，所述T型支撐塊上端加工有卡槽。

本實用新型的有益效果：本實用新型的一種擴散爐專用自動進出料裝置，本實用新型通過添加支撐板、微動開關、滑塊、絲桿、同步輪一、伺服電機、同步輪二以及同步帶，該設計通過伺服電機驅動同步輪，由同步帶傳動給絲桿來驅動滑塊左右移動，伺服電機可以對速度的快慢以及行程進行控制，滑塊繼續運動觸碰微動開關，設備就會緊急斷電，從而保護伺服電機不會受損，避免損失，解決了現有的擴散爐專用自動進出料裝置主要是由T型絲杠作為主傳動，電機通過聯軸器直接連接，由兩端的光電開關作為定點限位來控制其總行程，系統由簡易的集成控制箱控制，控制精度低的問題。