[實用新型]氣體激光裝置有效
| 申請號： | 201820101827.5 | 申請日： | 2018-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN207925886U | 公開（公告）日： | 2018-09-28 |
| 發明（設計）人： | 都丸仁;奈良久 | 申請（專利權）人： | 極光先進雷射株式會社 |
| 主分類號： | H01S3/02 | 分類號： | H01S3/02;H01S3/034 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光介質氣體 排出 腔室 氣體激光裝置 第二排氣口 口徑 本實用新型 第一排氣口 鈍化過程 維修 大口徑 收容 | ||
1.一種氣體激光裝置，其特征在于，所述氣體激光裝置包括：
腔室，其內部收容有激光介質氣體；
第一排氣口，其具有第一口徑，從所述腔室排出至少一部分所述激光介質氣體；以及
第二排氣口，其具有比所述第一口徑大的第二口徑，從所述腔室排出至少一部分所述激光介質氣體。
2.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，所述氣體激光裝置還包括：
激光框架，其收容所述腔室。
3.根據權利要求2所述的氣體激光裝置，其中，所述激光框架具有維修面；所述激光框架構成為通過使所述維修面打開而引導出所述腔室。
4.根據權利要求3所述的氣體激光裝置，其中，所述第一排氣口被設置在所述腔室的靠近所述維修面的第一側。
5.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，所述第二排氣口被設置在所述腔室的與設置有所述第一排氣口的第一側相反的第二側。
6.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，所述氣體激光裝置還包括：
排氣設備，其在所述氣體激光裝置工作時通過第一排氣閥和第一排氣管道與所述第一排氣口連接；在所述氣體激光裝置維修時通過第二排氣閥和第二排氣管道與所述第二排氣口連接。
7.根據權利要求1所述的氣體激光裝置，其中，所述氣體激光裝置還包括：
供氣口，其向所述腔室提供所述激光介質氣體。
8.根據權利要求7所述的氣體激光裝置，其中，所述氣體激光裝置還包括：
供氣設備，其通過供氣閥和供氣管道與所述供氣口連接。
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