[實用新型]黑硅槽藥液成份在線式監控裝置

有效

• 申請號: 201820097201.1
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN207779994U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 吳佳俊;吳家宏;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 王美華

1.一種黑硅槽藥液成份在線式監控裝置，具有測量管(1)，所述測量管(1)管路連接盛裝有銀離子藥液的多個槽體(2)，其特征是：所述的測量管(1)前端通過進液管(3)管路連通有藥液檢測儀(4)，測量管(1)后端連接有排液管(5)，進液管(3)上連接有用于通入輔助排液氣體的氮氣管(6)，氮氣管(6)的管路上設有控制輔助排液氣體排出的排液氣動閥(7)，排液管(5)的管路上設有排廢氣動閥(8)，所述的進液管(3)的管路上設有單向控制閥(9)。

2.如權利要求1所述的黑硅槽藥液成份在線式監控裝置，其特征是：所述的槽體(2)與測量管(1)之間的管路上設有控制待測藥液通入測量管(1)的氣動控制閥(10)。