[實用新型]減壓容器、處理裝置、以及處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820090183.4
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN208055449U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 森純平;太田明
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社;佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/44
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所 11038
• 代理人: 李東暉

1.一種減壓容器，其特征在于，所述減壓容器包括：

外壁，所述外壁包括第一構(gòu)件，所述第一構(gòu)件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四邊形形狀的第一表面，所述第一肋部設(shè)置在所述第一表面上，

其中所述第一肋部包括：

圍繞所述第一表面的中心的第一肋；

多個第二肋，所述多個第二肋連接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四邊形形狀的側(cè)邊延伸；以及

多個第三肋，所述多個第三肋分別設(shè)置成與所述第一表面的四邊形形狀的相應(yīng)角部相對、朝向形成所述第一表面的四邊形形狀的相應(yīng)角部的相應(yīng)成對側(cè)邊延伸、并且相互間隔開。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓容器，其特征在于，所述多個第二肋包括一對肋，這一對肋分別朝向所述第一表面的四邊形形狀的兩條相對側(cè)邊延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓容器，其特征在于，

在沿著垂直于所述第一表面的方向觀察時，所述第一肋具有多邊形形狀，并且

所述多個第二肋分別從所述第一肋的角部朝向所述第一表面的四邊形形狀的側(cè)邊延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，所述多個第二肋是分別垂直于所述第一表面的四邊形形狀的側(cè)邊的直線狀肋。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，所述多個第三肋是相對于形成所述第一表面的四邊形形狀的相應(yīng)角部的兩條相應(yīng)成對側(cè)邊傾斜的直線狀肋。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，在所述第一肋內(nèi)側(cè)的區(qū)域中不設(shè)置肋。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，在所述第一肋內(nèi)側(cè)的區(qū)域中設(shè)有窗口。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的減壓容器，其特征在于，在所述第一肋和所述窗口之間的距離為100mm以下。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，所述減壓容器包括第二構(gòu)件，所述第二構(gòu)件鄰接所述第一構(gòu)件并且包括第二基部和第二肋部，所述第二基部包括具有四邊形形狀的第二表面，所述第二肋部設(shè)置在所述第二表面上，

其中所述第二肋部包括：

圍繞所述第二表面的中心的第四肋；

多個第五肋，所述多個第五肋連接至所述第四肋并且朝向所述第二表面的四邊形形狀的側(cè)邊延伸；以及

多個第六肋，所述多個第六肋分別設(shè)置成與所述第二表面的四邊形形狀的相應(yīng)角部相對、朝向形成所述第二表面的四邊形形狀的相應(yīng)角部的相應(yīng)成對側(cè)邊延伸、并且相互間隔開，并且

其中在所述第一構(gòu)件的所述多個第二肋中所包括的、并且朝向所述第一構(gòu)件的第一表面和所述第二構(gòu)件的第二表面之間的邊界延伸的肋在所述邊界處連接至在所述第二構(gòu)件的所述多個第五肋中所包括的、并且朝向所述邊界延伸的肋。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，所述第一構(gòu)件是門，所述門能夠打開、能夠關(guān)閉、并且設(shè)置為所述減壓容器的外壁的一部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器，其特征在于，

所述第一構(gòu)件是門，所述門能夠打開、能夠關(guān)閉、并且設(shè)置為所述減壓容器的外壁的一部分，并且

所述第一構(gòu)件是在所述外壁上形成的多個第一構(gòu)件中的一個。

12.一種處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括：

根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項所述的減壓容器；以及

處理部，所述處理部設(shè)置在所述減壓容器中并且構(gòu)造成用以在輸送到所述減壓容器中的工件上執(zhí)行處理。