[實用新型]槽邊緣倒角刀具

有效

• 申請號: 201820084622.0
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN207757893U
• 公開（公告）日: 2018-08-24
• 發明（設計）人: 李來斌
• 申請（專利權）人: 沈陽漢科半導體材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及槽邊緣倒角刀具。該槽邊緣倒角刀具包括：刀具主體、刀具刀頭，所述刀具主體上設有長條形固定槽，所述刀具主體兩端設有刀具刀頭，所述刀具刀頭的切面為凸字形。本實用新型提供的槽邊緣倒角刀具，實現對產品的槽邊緣均勻倒角，大大改善了產品的質量，減少對硅片的劃傷，有效避免了產品顆料的產生。

技術領域

本實用新型涉及硅片切割技術領域，尤其涉及槽邊緣倒角刀具。

背景技術

目前，傳統的切槽邊緣采用的火拋光過渡，倒角不均，對硅片的切割大多使用刀具刀頭邊緣為直角的技術，容易造成不倒角或拋光倒角后不均勻，與圖紙尺寸存在較大的差異，對使用過程中劃傷產品，造成顆粒，影響產品的質量問題，無法充分改善槽邊緣的形狀，減少產品對硅片的劃傷，避免產品顆料的產生的問題。

發明內容

針對現有技術的上述缺陷，本實用新型提供的槽邊緣倒角刀具，解決了上述技術問題，提供一種改變刀具的切面形狀，實現對產品的槽邊緣均勻倒角，大大改善了產品的質量的槽邊緣倒角刀具。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

槽邊緣倒角刀具包括：刀具主體、刀具刀頭，所述刀具主體上設有長條形固定槽，所述刀具主體兩端設有刀具刀頭，所述刀具刀頭的切面為凸字形，所述刀具刀頭的頂部兩側為兩個內凹的弧形。

其中，所述刀具主體固定在裝卡到機床上。

其中，所述刀具主體為圓柱形，刀具主體上設有貫穿的長條形固定槽。

其中，所述刀具主體兩端設有相同的刀具刀頭。

其中，所述刀具主體的調整刀擺<0.03度。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提供的槽邊緣倒角刀具，充分改善槽邊緣的形狀，減少產品對硅片的劃傷，有效避免了產品顆料的產生。

為了能更進一步了解本實用新型的特征以及技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。

附圖說明

下面結合附圖，通過對本實用新型的具體實施方式詳細描述，將使本實用新型的技術方案及其它有益效果顯而易見。

圖1是本實用新型槽邊緣倒角刀具的結構示意圖。

圖2是傳統的切槽刀具的結構示意圖。

圖3是本實用新型槽邊緣倒角刀具的刀具刀頭結構示意圖。

圖4是本實用新型槽邊緣倒角刀具的刀具刀頭剖視圖。

圖5是本實用新型槽邊緣倒角刀具的被切工件結構示意圖。

圖6是本實用新型槽邊緣倒角刀具的刀具主體工作及運動軌跡示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型所采取的技術手段及其效果，以下結合本實用新型的優選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1至圖6，槽邊緣倒角刀具包括：刀具主體1、刀具刀頭2，所述刀具主體1上設有長條形固定槽，所述刀具主體1兩端設有刀具刀頭2，所述刀具刀頭2的切面為凸字形，所述刀具刀頭2的頂部兩側為兩個內凹的弧形。

進一步，所述刀具主體1固定在裝卡到機床上。

進一步，所述刀具主體1為圓柱形，刀具主體1上設有貫穿的長條形固定槽。

進一步，所述刀具主體1兩端設有相同的刀具刀頭。

進一步，所述刀具主體1的調整刀擺<0.03度。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應所述以權利要求的保護范圍為準。