[實用新型]隧道式濺射鍍膜機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820084617.X
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN208201102U
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設計）人: 李可峰;許仁;符東浩;虞文韜;王偉
• 申請（專利權）人: 維達力實業(yè)（深圳）有限公司;萬津科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 向薇

本實用新型公開了一種隧道式濺射鍍膜機。該隧道式濺射鍍膜機包括鍍膜筒、射頻離子源、鍍膜掛架以及掛架驅動部件，鍍膜筒包括內筒以及外筒，內筒以及外筒之間具有間隔且該間隔形成鍍膜腔，內筒的兩端以及外筒的兩端對應封閉連接使得鍍膜腔呈封閉狀，外筒的朝向鍍膜腔的內壁上或者內筒朝向鍍膜腔的內壁上設有多個鍍膜靶槽，射頻離子源連接在外筒的朝向鍍膜腔的內壁上或者內筒朝向鍍膜腔的內壁上，鍍膜掛架呈環(huán)狀，鍍膜掛架位于鍍膜腔內且鍍膜掛架套設于內筒，鍍膜掛架上連接有多個掛桿，多個掛桿平行且呈環(huán)狀排列，掛架驅動部件連接于鍍膜掛架以用于驅動鍍膜掛架轉動。該隧道式濺射鍍膜機能夠有效提升產能以及效率。

技術領域

本實用新型涉及一種隧道式濺射鍍膜機。

背景技術

在鍍膜領域，目前使用的度鍍膜機的線長較長、占用空間大，成本較高并且存在小腔室掛量少、產能低、抽空時間長、加熱時間長以及產能提升幅度有限的問題，甚至存在不同種類靶材間交叉污染的問題。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種能夠有效提升產能以及效率的隧道式濺射鍍膜機。

一種隧道式濺射鍍膜機，包括鍍膜筒、射頻離子源、鍍膜掛架以及掛架驅動部件，所述鍍膜筒包括內筒以及外筒，所述內筒以及所述外筒之間具有間隔且該間隔形成鍍膜腔，所述鍍膜腔的兩端封閉，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述鍍膜掛架呈環(huán)狀，所述鍍膜掛架位于所述鍍膜腔內且所述鍍膜掛架套設于所述內筒，所述鍍膜掛架上連接有多個用于供待鍍基材放置的掛桿，多個所述掛桿平行且呈環(huán)狀排列，所述掛架驅動部件連接于所述鍍膜掛架以用于驅動所述鍍膜掛架轉動。

在其中一個實施例中，還包括靶槽擋板，所述靶槽擋板的數(shù)量與所述鍍膜靶槽的數(shù)量一致，多個所述靶槽擋板與多個所述鍍膜靶槽一一對應，所述靶槽擋板連接在所述外筒的朝向所述鍍膜腔的內壁上或者所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上，所述靶膜擋板用于打開或者關閉所述鍍膜靶槽。

在其中一個實施例中，所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上；或者，所述內筒朝向所述鍍膜腔的外壁上設有多個鍍膜靶槽，所述射頻離子源連接在所述外筒朝向所述鍍膜腔的內壁上。

在其中一個實施例中，所述射頻離子源的數(shù)量為多個。

在其中一個實施例中，所述內筒呈圓柱狀，所述外筒呈圓柱狀，所述鍍膜掛架呈圓環(huán)狀，所述內筒、所述外筒以及所述鍍膜掛架共軸。

在其中一個實施例中，還包括第一鍍膜遮擋件，所述第一鍍膜遮擋件呈筒形，所述第一鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述內筒之間，所述第一鍍膜遮擋件套設于所述內筒，所述第一鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅動部件，所述第一鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架相對靜止，所述第一鍍膜遮擋件的側壁上具有多個第一鍍膜通孔，多個所述第一鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應。

在其中一個實施例中，還包括第二鍍膜遮擋件，所述第二鍍膜遮擋件呈筒形，所述第二鍍膜遮擋件位于所述鍍膜掛架以及所述外筒之間，所述第二鍍膜遮擋件套設于所述鍍膜掛架，所述第二鍍膜遮擋件連接于所述掛架驅動部件，所述第二鍍膜遮擋件與所述鍍膜掛架能夠同步運動，所述第二鍍膜遮擋件的側壁上具有多個第二鍍膜通孔，多個所述第二鍍膜通孔與多個所述掛桿一一對應。

在其中一個實施例中，還包括預進料室，所述外筒的側壁具有進料口，所述預進料室位于所述外筒的外部且連接于所述外筒，所述預進料室通過所述進料口連通于所述鍍膜腔。

在其中一個實施例中，還包括傳動軸、主動齒輪以及傳動齒輪，所述傳動軸連接在所述鍍膜掛架底面的中部，所述主動齒輪套設連接于所述掛架驅動部件的驅動軸上，所述傳動齒輪套設連接在所述傳動軸上，所述主動齒輪與所述傳動齒輪齒合。