[實用新型]一種射頻等離子燈炬卡具

有效

• 申請號: 201820077998.9
• 申請日: 2018-01-17
• 公開（公告）號: CN207952638U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 龍海明;王海英;郝俊杰;郭志猛;舒進鋒;李沛;秦乾
• 申請（專利權）人: 北京金物科技發展有限公司
• 主分類號: B22F9/14
• 分類號: B22F9/14;B33Y70/00
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 李芙蓉;馮建基

1.一種射頻等離子燈炬卡具，所述射頻等離子燈炬卡具上端通過封裝結構A(8)與絕緣封裝管(9)相連，下端通過封裝結構B(10)與等離子燈炬(11)相連，其特征在于：所述射頻等離子燈炬卡具包括上卡座(1)、下卡座(2)和連接件(3)，所述上卡座(1)和下卡座(2)通過連接件(3)相連，所述上卡座(1)與連接件(3)采用螺紋連接，所述下卡座(2)與連接件(3)采用螺栓連接，所述上卡座(1)頂部中心處設置有絕緣封裝管接口(4)，通過所述封裝結構A(8)與絕緣封裝管(9)相連，所述上卡座(1)上設置有所述等離子燈炬(11)的主氣入口(5)和邊氣入口(6)，所述下卡座(2)上設置有射頻等離子燈炬管壁循環冷卻水進出口(7)。

2.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述上卡座(1)、下卡座(2)和連接件(3)的材質為不銹鋼。

3.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述主氣入口(5)的數量為2個，沿所述上卡座(1)圓周對稱布置，采用直線進氣或切線進氣。

4.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述邊氣入口(6)的數量為2～4個，沿所述上卡座(1)圓周均勻分布，切線進氣。

5.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述絕緣封裝管接口(4)與封裝結構A(8)采用螺紋連接。

6.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述下卡座(2)的下端與封裝結構B(10)采用螺紋連接。

7.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述的主氣和邊氣采用氦氣或氬氣，主氣流量為10～100L/min，邊氣流量為20～300L/min，所述氦氣或氬氣純度不低于99.995％。

8.根據權利要求1所述的射頻等離子燈炬卡具，其特征在于：所述射頻等離子燈炬卡具的耐正壓大于1MPa，內腔真空度可達10^-4Pa。