[實用新型]一種真空腔體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820070029.0
• 申請日: 2018-01-16
• 公開（公告）號: CN207781534U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設計）人: 張揚;李玉江;王懷德;陳智勇
• 申請（專利權）人: 北京市北分儀器技術有限責任公司
• 主分類號: H01J49/24
• 分類號: H01J49/24;F16J15/06;F16J15/08;F16J15/10
• 代理公司: 北京東方芊悅知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11591
• 代理人: 彭秀麗

本實用新型公開了一種真空腔體，其包括腔室和位于所述腔室上方的蓋板，所述蓋板與所述腔室通過連接法蘭固定連接，所述腔室由不銹鋼整體銑制而成的方形腔室，所述腔室的上端面上成型有環(huán)形的臺階刀口I，與所述臺階刀口I位置相對應的所述蓋板上成型有環(huán)形的臺階刀口II，所述臺階刀口I與所述臺階刀口II之間設有金屬密封件。本實用新型通過整體成型腔室的加工方式避免了過多焊接縫隙產(chǎn)生的真空泄漏和焊接時產(chǎn)生的變形，從而保證了整個部件的真空度和內(nèi)部部件的裝配精度，同時將腔室制成方形腔室結構，有助于內(nèi)容物在腔室內(nèi)的裝配與設置，在腔室上端面與蓋板之間通過臺階刀口I和臺階刀口II實現(xiàn)對金屬密封件的刀口密封，大大提高了真空腔體的高低溫適應性。

技術領域

本實用新型涉及質(zhì)譜儀領域，具體涉及一種真空腔體。

背景技術

在科技飛速發(fā)展的今天，很多科學儀器與設備都需要在一定的真空環(huán)境下工作，真空腔體為敏感的元器件提供真空環(huán)境，保證其正常工作，因此，真空腔體的設計成為了整個真空系統(tǒng)設計的核心。

目前，現(xiàn)有的真空腔體設計形狀多種多樣，材料以不銹鋼、鋁合金、鈦合金為主。鋁合金重量輕、加工成本低，但由于其質(zhì)地較軟無法使用刀口密封方式，只能使用橡膠圈密封的方式；鋁合金材質(zhì)的真空腔體優(yōu)點是拆裝方便，不足之處是只能使用橡膠圈密封，密封方式單一，鋁合金材質(zhì)和橡膠圈都有很大的放氣率，溫度適應性差，無法使用熔融焊工藝，因此適用范圍窄。鈦合金重量輕但加工成本高，焊接難度大、焊接方式受限，無法用于方形真空腔體加工。不銹鋼材料出氣率低、機械性能好，并且熔融焊接性能優(yōu)秀，加工成本低，在真空腔體設計中被廣泛應用。

國內(nèi)和國際上的真空腔體設計以圓筒形為主，內(nèi)部器件無法垂直圓筒軸向安裝，只能沿圓筒軸向安裝，空間較為狹窄，裝配不便。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術中的以上不足，本實用新型提供一種通用性高、適宜多種裝配位置需求的真空腔體。

一種真空腔體，其包括腔室和位于所述腔室上方的蓋板，所述蓋板與所述腔室通過連接法蘭固定連接，所述腔室由不銹鋼整體銑制而成的方形腔室，所述腔室的上端面上成型有環(huán)形的臺階刀口I，與所述臺階刀口I位置相對應的所述蓋板上成型有環(huán)形的臺階刀口II，所述臺階刀口I與所述臺階刀口II之間設有金屬密封件。

所述腔室內(nèi)的兩側位置分別固定一凸臺，兩所述凸臺之間設置一弧形卡箍裝置，所述卡箍裝置包括半圓弧形底托和半圓弧形卡架，所述半圓弧形底托和半圓弧形卡架的兩端分別通過緊固件與所述凸臺固定連接。

所述半圓弧形底托設置于所述腔室的底部，其兩端分別與兩所述凸臺固定連接。

所述腔室內(nèi)平行設有至少兩個呈間隔設置的所述卡箍裝置，所述卡箍裝置的兩端對應固定于所述凸臺上。

所述金屬密封件為無氧銅墊圈。

所述腔室的臺階刀口I設置于所述腔室的上端面內(nèi)側位置。

所述蓋板上的臺階刀口II在拐角處的R值為所述臺階刀口I在拐角處的R值加臺階間隙。這樣做可以保證在切割銅墊圈時臺階刀口上的每一點受力均勻，達到最好的靜密封效果。

所述腔室的至少一個側壁上設有真空引線孔，在與所述卡箍裝置卡箍方向相垂直的所述腔室的一側壁上還設置一進氣嘴。

所述腔室與所述蓋板上的連接法蘭厚度大于等于18mm。

為達到上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

本實用新型技術方案，具有如下優(yōu)點：