[實用新型]遮熱板以及真空蒸鍍設備總成

有效

• 申請號: 201820069061.7
• 申請日: 2018-01-16
• 公開（公告）號: CN207845758U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 鮑偉成;蘇育家
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;趙景平

本實用新型公開了一種遮熱板以及真空蒸鍍設備總成，其中前者包括遮熱板本體和設置于遮熱板本體上且向第一方向延伸的第一凸起和向第二方向延伸的第二凸起；第一凸起和第二凸起的位置相互交錯，其中所述第一方向和所述第二方向相反。在遮熱板本體的兩側分別設置第一凸起和第二凸起，明顯增加了遮熱板的隔熱效果，且延長了遮熱板的使用壽命，因此無需頻繁更換遮熱板，降低了設備的維護成本。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制備技術領域，尤其涉及一種遮熱板以及真空蒸鍍設備總成。

背景技術

隨著地球上石油、煤炭等自然資源日益減少，開發新的自然資源成為當務之急，目前，太陽能以其清潔的優勢成為開發的重點。

太陽能的利用，主要是通過太陽能電池將太陽光輻射轉換成電能和熱能等人類可以利用的資源。高效異質結太陽能電池以其高效的優勢成為發展重點，在制備異質結太陽能電池時，需要首先制備電池片，電池片的制備多采用在基片的兩側表面沉積膜層的方式加工完成，在基片的兩側表面沉積膜層時，會用到真空蒸鍍設備。

真空蒸鍍設備上設置有工藝腔室，工藝腔室中設置有蒸鍍源，基片多放置于蒸鍍源的對面，加工時，利用蒸鍍源提供的高溫濺射原子，在真空狀態下，沉積在基片上形成膜層。

上述加工過程需要在高真空和高溫環境下進行，因此對工藝腔室的保溫和密封性的要求較為苛刻，然而真空腔室的內壁一般多為不銹鋼(X5CrNi18)材質，這種材料在達到680K以上的高溫時，容易與加工太陽能電池的工藝原材料發生反應，從而腐蝕工藝腔室的內壁，降低真空蒸鍍設備的使用壽命，同時，工藝腔室的內表面的高溫會損壞其它元器件，也不利于設備安全性。因此，對工藝腔室的內表面做隔熱防護處理為當務之急。

目前，為了解決上述問題，在工藝腔室的內壁上設置一層遮熱板，該遮熱板采用噴砂不銹鋼制成。但是實際使用過程中，發現該遮熱板隔熱效果不夠理想，另外該遮熱板的使用壽命有限，需要定期更換，增加了設備的維護成本。

實用新型內容

本實用新型提供了一種遮熱板以及真空蒸鍍設備總成，以解決上述問題，提高隔熱效果，延長使用壽命，降低設備維護成本。

本實用新型提供了一種遮熱板，包括遮熱板本體和設置于所述遮熱板本體上且向第一方向延伸的第一凸起和向第二方向延伸的第二凸起；

所述第一凸起和所述第二凸起的位置相互交錯，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，所述第一凸起和所述第二凸起的形狀均為圓錐體，所述圓錐體的底部與所述遮熱板本體固定連接。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，所述第一凸起和所述第二凸起為由所述遮熱板本體沖壓形成的空心的圓錐體。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，所述第一凸起和所述第二凸起的頂角的角度均為25度至35度。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，所述遮熱板本體的厚度為0.3毫米至0.7毫米之間。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，相鄰的兩所述第一凸起的頂尖之間的間隔為所述遮熱板本體的厚度的20至25倍。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，相鄰的所述第一凸起和所述第二凸起的頂尖之間的間隔為所述遮熱板本體的厚度的10至13倍。

如上所述的遮熱板，其中，優選的是，所述第一凸起和所述第二凸起的高度均為所述遮熱板本體的厚度的1.15至1.5倍。

本實用新型還提供了一種真空蒸鍍設備總成，包括：

工藝腔室，所述工藝腔室的內壁上設置上述任意一種遮熱板。