[實用新型]一種基于仿生植物脈絡的研磨盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820062823.0
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN208358548U
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設計）人: 方從富;嚴振;胡中偉;徐西鵬
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: B24B37/16
• 分類號: B24B37/16;B24D18/00
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 張松亭;張迪

本實用新型提供了基于仿生植物脈絡的研磨盤，包括層疊設置的基體層和工作層；所述工作層仿生于各種不同的植物葉片脈絡分布設置有溝槽結構，并且所述溝槽結構根據(jù)植物葉片的主脈絡和分支脈絡分為主溝槽和副溝槽；所述主溝槽由工作層的中心向邊緣延伸，并且各個主溝槽繞著研磨盤的軸心呈旋轉螺旋對稱分布；所述副溝槽位于相鄰兩個主溝槽之間，并且所述副溝槽具有多個連接主溝槽或工作層邊緣的分支末端，并且具有多個分支脈絡交匯端，本實用新型還提供了上述研磨盤的制作方法。上述的研磨盤由于根據(jù)植物脈絡傳輸?shù)脑硎沟脺喜鄯植嫉木鶆蛐院茫谘心ミ^程中研磨液分布更加均勻，利于研屑的及時排出，防止研磨盤堵塞磨損，提高研磨加工的質量和效率。

技術領域

本實用新型涉及一種固結磨料研磨盤，特別是涉及一種基于仿生植物脈絡槽型的金剛石微粉固結研磨盤。

背景技術

研磨拋光加工技術作為一種重要的精密超精密加工技術方法，它被廣泛應用于半導體基片材料加工領域。而固結磨料研磨拋光技術無疑是該技術中的一項熱門技術，固結磨料研磨盤的研發(fā)推動著固結磨料研磨拋光技術不斷革新，越來越受到各界的重視。代替金屬結合劑的樹脂結合劑研磨盤由于其加工性能更加突出，制備也更加容易而被廣泛使用。

在研磨拋光過程中，為了使加工工件表面獲得更好的表面質量，需要考慮的一個重要問題就是研磨工具隨加工的進行而逐漸堵塞。針對這一問題，研磨盤上會設計一些簡單的溝槽以利于研屑的排出，例如網(wǎng)格槽型、螺旋槽型、同心圓槽型等。然而，這些溝槽結構主要是解決了研磨工具在全局上研磨液供給問題，在研磨工具表面未設置溝槽結構的局部區(qū)域仍存在研磨液供給不均，易造成研屑在研磨工具局部區(qū)域不能及時的排出，進而造成研磨工具的局部堵塞磨損問題，這將嚴重影響研磨加工的材料去除效率和研磨加工表面質量。為了更有效的解決上述問題，需要設計更復雜有效的溝槽以達到更好的研磨液輸送和研屑排出效果，保證研磨工具良好的加工性能。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了使研磨過程研磨液分布更均勻，研屑順暢的排出，提供一種基于仿生植物脈絡的研磨盤。

本實用新型所要解決的次要技術問題是提供上述基于仿生植物脈絡的研磨盤的制作方法。

為了解決上述的技術問題，本實用新型提供了一種基于仿生植物脈絡的研磨盤，包括層疊設置的基體層和工作層；所述工作層仿生于各種不同的植物葉片脈絡分布設置有溝槽結構，并且所述溝槽結構根據(jù)植物葉片的主脈絡和分支脈絡分為主溝槽和副溝槽；

所述主溝槽由工作層的中心向邊緣延伸，并且各個主溝槽繞著研磨盤的軸心呈旋轉螺旋對稱分布；所述副溝槽位于相鄰兩個主溝槽之間，并且所述副溝槽具有多個連接主溝槽或工作層邊緣的分支末端，并且具有多個分支脈絡交匯端。

在一較佳實施例中：所述基體層的材質為樹脂，其厚度為20～30mm。

在一較佳實施例中：所述工作層由樹脂與金剛石微粉結合而成，其厚度為2～3mm。

在一較佳實施例中：主溝槽和副溝槽的槽型橫截面為方形或三角形或梯形；主溝槽的深度為4～6mm，副溝槽的深度為2～3mm。

在一較佳實施例中：所述的金剛石微粉的粒度為0.1～40μm。

本實用新型還提供了上述的基于仿生植物脈絡的研磨盤的制備方法，包括以下步驟：

1)提供有與研磨盤直徑配套的圓環(huán)擋圈、支撐板、相應的主溝槽壓板和副溝槽壓板；所述支撐板設置在圓環(huán)擋圈內(nèi)，使得底板和圓環(huán)擋圈共同包圍形成一半封閉腔體；所述主溝槽壓板包括一中心片，以及從中心片的外周向外延伸的多個主溝槽壓條；所述多個主溝槽壓條以中心片為圓心呈旋轉螺旋對稱分布；所述副溝槽壓板的數(shù)量比主溝槽壓條的數(shù)量少1，每一個副溝槽壓板分別包括一底板、以及設置在底板上的副溝槽壓條；所述副溝槽壓條具有多個連接至底板四周的壓條末端，并且具有多個壓條交匯端；