[實用新型]一種新型片架定位工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820060295.5
• 申請日: 2018-01-15
• 公開（公告）號: CN207966950U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設計）人: 張如根
• 申請（專利權）人: 蚌埠市龍子湖區(qū)金力傳感器廠
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 安徽力瀾律師事務所 34127
• 代理人: 王際復

1.一種新型片架定位工裝，包括：反應箱、氣源室、進氣管、出氣管、抽氣裝置、片架、旋轉電機、轉動座、環(huán)形擋圈、豁口、滾輪，所述氣源室設置在反應箱的一側，所述反應箱與氣源室之間通過進氣管連接，所述反應箱的底壁上連接一根出氣管，所述出氣管不與反應箱連接的另一端與抽氣裝置連接，所述旋轉電機固定安裝在反應箱下端面，其特征在于：所述旋轉電機輸出軸向上穿過反應箱底壁后末端固接一個轉動座，所述片架固接在轉動座上端面處，所述環(huán)形擋圈固接在反應箱內(nèi)部下側，所述轉動座的外側架設在環(huán)形擋圈上，所述轉動座左右兩側分別開有一個豁口，且每一個豁口內(nèi)均通過短軸轉動安裝一個滾輪，所述滾輪外壁與反應箱內(nèi)壁接觸。

2.根據(jù)權利要求1中所述的一種新型片架定位工裝，其特征在于：所述抽氣裝置為真空泵或抽風機中的一種。

3.根據(jù)權利要求1中所述的一種新型片架定位工裝，其特征在于：所述反應箱、轉動座均為圓柱形結構，所述轉動座、環(huán)形擋圈的圓心在同一豎直延伸線上，且轉動座的直徑大于環(huán)形擋圈的內(nèi)徑。