[實用新型]激光腔室及放電激勵式氣體激光器有效
| 申請號： | 201820060219.4 | 申請日： | 2018-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN207753291U | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 都丸仁;奈良久 | 申請（專利權）人： | 極光先進雷射株式會社 |
| 主分類號： | H01S3/03 | 分類號： | H01S3/03;H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;王鍇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容器 調峰 激光腔 預電離 放電 氣體激光器 電容 本實用新型 預電離電極 主放電電極 激光器 調換 組裝 保證 管理 | ||
1.一種用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述激光腔室具有：
一對預電離電極；
至少一個預電離電容器，其與所述一對預電離電極中的一個預電離電極電連接；
多個調峰電容器，所述多個調峰電容器中的任意一個調峰電容器與所述預電離電容器之間的電容差在規定電容值的20％以下；
第一放電電極，其與所述多個調峰電容器電連接；以及
第二放電電極，其被設置在與所述第一放電電極相對的位置處。
2.根據權利要求1所述的用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述多個調峰電容器中的任意一個調峰電容器與所述預電離電容器之間的電容差在所述規定電容值的10％以下。
3.根據權利要求1所述的用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述預電離電容器的電容值為100pF～250pF。
4.根據權利要求1所述的用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述多個調峰電容器的電容值為100pF～250pF。
5.根據權利要求1所述的用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述預電離電容器和所述多個調峰電容器是平行配置的。
6.根據權利要求1所述的用于放電激勵式氣體激光器的激光腔室，其特征在于，所述預電離電容器和所述多個調峰電容器具有相同的直徑和長度。
7.一種放電激勵式氣體激光器，其具有激光腔室和電源，其特征在于，
所述激光腔室具有：
一對預電離電極；
至少一個預電離電容器，其與所述一對預電離電極中的一個預電離電極電連接；
多個調峰電容器，所述多個調峰電容器中的任意一個調峰電容器與所述預電離電容器之間的電容差在規定電容值的20％以下；
第一放電電極，其與所述多個調峰電容器電連接；以及
第二放電電極，其被設置在與所述第一放電電極相對的位置處，
所述電源與所述預電離電容器和所述多個調峰電容器電連接。
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